Исследование качества гибридизации матричных фотоприемных устройств на установке с автоколлиматором (2024)

Представлены результаты исследований процессов гибридизации кристаллов БИС считывания и МФЧЭ матричных фотоприемных устройств ИК-диапазона, которые проводились на установках с автоколлиматором и без автоколлиматора методом перевернутого кристалла и определена необходимость использования автоколлиматора для различных фотоприемников. На основе проведенных исследований оптимизированы процессы гибридизации. Установлено, что на установке с автоколлиматором надежнее и рациональнее гибридизировать крупноформатные МФЧЭ и БИС счи-тывания формата более 640512, а на установке без автоколлиматора – малогабаритные матричные фотоприемники и многорядные фотоприемные устройства.

Издание: Прикладная физика
Выпуск: № 2 (2024)
Автор(ы): Болтарь Константин, Акимов Владимир Михайлович, Лопухин Алексей Алексеевич
Сохранить в закладках