Статья: Влияние режимов химической обработки монокристаллов InSb на состав и структуру поверхности (2015)

Читать онлайн

Многочисленные исследования показали, что параметры приборов на основе узкозонных полупроводников могут существенно зависеть от обработки и состояния поверхности. Были проведены исследования поверхности (100) InSb после химико-механической и химикодинамической полировки с использованием травителей на основе водных растворов перекиси водорода и винной кислоты. Состав контролировался методами ЭСХА и Оже-спектроскопии. Показано, что образующиеся на поверхности окислы индия и сурьмы зависят от обработки, а в некоторых случаях дополняются соединениями элементов основной матрицы с углеродом.

The complex investigations have shown that parameters devices on the base of narrow-gap semiconductors can greatly depend on processing and conditions of surfaces. The investigations were organized for the InSb (100)-surfaces after chemical-mechanical and chemical-dynamic waxing. Uses were made an etchant on the base of a water solution for hydrogen peroxide and a wine acid. The composition was controlled by methods ESCA and Auger-spectroscopy. It is shown that layers of oxide of indium and stibium, forming upon surfaces, vary along thickness depending on processing, but some events are complemented by joining basic matrix element with carbon.

Ключевые фразы: матричный фотоприемник, МФП, фоточувствительный элемент, ФЧЭ, химико-механическая полировка, хмп, химико-динамическая полировка, хдп, InSb, электронная спектроскопия для химического анализа, эсха, оже-спектры
Автор (ы): Киселева Лариса Васильевна, Лопухин Алексей Алексеевич, Мезин Юрий Сергеевич, Савостин Александр Викторович, Власов Павел Валентинович, Вяткина Олеся Сергеевна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
eLIBRARY ID
24839899
Для цитирования:
КИСЕЛЕВА Л. В., ЛОПУХИН А. А., МЕЗИН Ю. С., САВОСТИН А. В., ВЛАСОВ П. В., ВЯТКИНА О. С. ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ МОНОКРИСТАЛЛОВ INSB НА СОСТАВ И СТРУКТУРУ ПОВЕРХНОСТИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2015. №5
Текстовый фрагмент статьи