Статья: Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда, помещенного во внешнее магнитное поле, посредством программы КАРАТ (2015)

Читать онлайн

В работе представлены результаты математического моделирования PIC-методом пространственного распределения параметров плазмы и ВЧ-полей в индуктивном ВЧ-разряде, помещенном во внешнее магнитное поле. Показано, что с ростом величины внешнего магнитного поля происходит смещение максимальных значений плотности плазмы по радиусу к стенкам источника плазмы, а по оси разряда — от антенны в центральные части разряда. Закономерности изменения плотности плазмы коррелируют с изменениями пространственного распределения ВЧ-поля.

The results of the mathematical modeling using PIC method for the plasma parameters and the RF fields spatial distribution in the RF inductive discharge placed in an external magnetic field are presented. It is shown that the maximum values of the plasma density are shifted along the radius to the walls of the plasma source and along the axis of discharge — from the antenna to the central part of the discharge with an increase in the external magnetic field. Change dependencies of the plasma density correlate with changes in the spatial distribution of the RF field.

Ключевые фразы: индуктивный, высокочастотный, разряд, плазма, МАГНИТНОЕ ПОЛЕ, геликон, косая ленгмюровская волна, pic-метод
Автор (ы): Александров Андрей Фёдорович, Вавилин Константин Викторович, Кралькина Елена Александровна, Павлов Владимир Борисович, Петров Александр Кириллович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525.99. Прочие виды разрядов в газах при пониженном давлении
eLIBRARY ID
24839892
Для цитирования:
АЛЕКСАНДРОВ А. Ф., ВАВИЛИН К. В., КРАЛЬКИНА Е. А., ПАВЛОВ В. Б., ПЕТРОВ А. К. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНДУКТИВНОГО ВЧ-РАЗРЯДА, ПОМЕЩЕННОГО ВО ВНЕШНЕЕ МАГНИТНОЕ ПОЛЕ, ПОСРЕДСТВОМ ПРОГРАММЫ КАРАТ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2015. №5
Текстовый фрагмент статьи