Статья: Химико-механическая обработка поверхности теллурида кадмия-цинка с использованием травителя на основе серной кислоты (2015)

Читать онлайн

Приведены результаты исследования характеристик поверхности теллурида кадмия-цинка ориентации {111} после химико-механической полировки с использованием полирующего травителя на основе серной кислоты. Наличие полирующего эффекта травления устанавливалось наблюдением поверхности образцов после химико-механической полировки с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ) и профилометров. Шероховатость профилей поверхности определялись при помощи анализа АСМ изображений и профилограмм.

This article presents the results of the study of characteristics of the cadmium-zinc-telluride surface achieved through its chemical-mechanical planarization using the sulfuric acid as an etching agent. The presence of polishing effect of etching was detected by means of the profilometers such as DEKTAK XT, Sensofar Plu NEOX and the AFM microscope such as NT-MDT Integra Maximus.

Ключевые фразы: теллурид кадмия-цинка, атомно-силовая микроскопия, АСМ, химико-механическая полировка
Автор (ы): Погожева Анна Владимировна, Головин Сергей Вадимович, Лакманова Медина Рефатовна, Захаров Эльнар Фазлиевич, Кашуба Алексей Сергеевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
eLIBRARY ID
24839898
Для цитирования:
ПОГОЖЕВА А. В., ГОЛОВИН С. В., ЛАКМАНОВА М. Р., ЗАХАРОВ Э. Ф., КАШУБА А. С. ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТИ ТЕЛЛУРИДА КАДМИЯ-ЦИНКА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТРАВИТЕЛЯ НА ОСНОВЕ СЕРНОЙ КИСЛОТЫ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2015. №5
Текстовый фрагмент статьи