Статья: Исследование структур InSb, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии (2015)

Читать онлайн

В работе различными аналитическими методами исследовались эпитаксиальные структуры InSb, выращенные методом молекулярно-лучевой эпитаксии на сильнолегированных подложках InSb (100). Подложки предварительно подвергались серной пассивации в Na2S. Исследования показали, что образцы имели гладкую поверхность с значениями среднеквадратичной шероховатости менее 1 нм при достаточно хорошем структурном совершенстве. Исследования на просвечивающем электронном микроскопе подтвердили предположение о гладкости интерфейса между подложкой и эпитаксиальным слоем. На полученных структурах изготовлены и исследованы фотодиодные матрицы формата 320256.

In this paper, the epitaxial structures of InSb grown by molecular beam epitaxy on heavily doped substrates were investigated by different analytical methods. Before growth, substrates were treated in Na2S. All samples had a mirror-like surface with root-mean-square roughness less than 1 nm along with high structural quality. Transmission electron microscopy investigations found out a high interface quality. After that, the 320256 focal plane arrays were fabricated.

Ключевые фразы: InSb, МЛЭ, гомоэпитаксия, ИК ФПУ, АСМ, рэм, рентгеновская дифрактометрия, пэм
Автор (ы): Бурлаков Игорь Дмитриевич (Burlakov I. D.), Болтарь Константин Олегович, Мирофянченко Андрей Евгеньевич, Власов Павел Валентинович, Лопухин Алексей Алексеевич, Пряникова Екатерина Васильевна, Соловьёв Виктор Алексеевич, Семёнов Алексей Николаевич, Мельцер Борис Яковлевич, Комиссарова Татьяна Александровна, Львова Татьяна Викторовна, Иванов Сергей Викторович
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.59. Проводники с особо высоким сопротивлением. Полупроводники
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
eLIBRARY ID
25085468
Для цитирования:
БУРЛАКОВ И. Д., БОЛТАРЬ К., МИРОФЯНЧЕНКО А. Е., ВЛАСОВ П. В., ЛОПУХИН А. А., ПРЯНИКОВА Е. В., СОЛОВЬЁВ В. А., СЕМЁНОВ А. Н., МЕЛЬЦЕР Б. Я., КОМИССАРОВА Т. А., ЛЬВОВА Т. В., ИВАНОВ С. В. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУР INSB, ВЫРАЩЕННЫХ МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2015. ТОМ 3, №6
Текстовый фрагмент статьи