Статья: Высокоскоростное ионно-плазменное магнетронное распыление для металлизации керамических теплоотводов мощных СВЧ-транзисторов (обзор) (2015)

Читать онлайн

Обобщены экспериментальные и теоретические исследования механизма адгезии металлического покрытия к керамической подложке на примере оксида бериллия. Предложенный механизм адгезии основывается на увеличении концентрации структурных дефектов (вакансий) и электронно-обменном взаимодействии пары металл-оксид бериллия при температурной активации процесса. Аналитически и экспериментально для различных металлов обоснованы и рекомендованы оптимальные режимы осаждения покрытия (температура и время осаждения, энергия активации) с максимальным значением адгезии металлического покрытия.

We have summarized the experimental and theoretical study of the mechanism of adhesion of the metal coating to the ceramic substrate as an example of beryllium oxide. The proposed mechanism of adhesion is based on increasing the concentration of structural defects (vacancies) and electron exchange interaction pairs of metal beryllium oxide when the temperature activation process. Analytically and experimentally for various metals is justified and recommended the optimal mode of deposition coating (heating temperature, deposition time, the activation energy) with a maximum adhesion of the metal coating.

Ключевые фразы: мощные свч-устройства, диффузия вакансий, механизм и кинетика образования адгезии, силовой слой
Автор (ы): Высикайло Ф. И. (Vysikaylo F. I.), Митин Валерий Семёнович, Митин Алексей Валерьевич, Краснобаев Николай Николаевич, Беляев Виктор Васильевич
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.5. Электронные и ионные явления. Разряды. Плазма. Излучения
537.9. Физика конденсированного состояния
eLIBRARY ID
25085479
Для цитирования:
ВЫСИКАЙЛО Ф. И., МИТИН В. С., МИТИН А. В., КРАСНОБАЕВ Н. Н., БЕЛЯЕВ В. В. ВЫСОКОСКОРОСТНОЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ КЕРАМИЧЕСКИХ ТЕПЛООТВОДОВ МОЩНЫХ СВЧ-ТРАНЗИСТОРОВ (ОБЗОР) // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2015. ТОМ 3, №6
Текстовый фрагмент статьи