В работе исследовано образование дефектов и последующая твердофазная рекристаллизация в пленках кремния на сапфире в процессе облучения ионами кремния с энергиями в диапазоне от 170 до 230 кэВ при различных температурах подложки. С помощью методики резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием обнаружено, что полное разрушение сильнодефектной области зависит от энергии имплантируемых ионов. Энергия разупорядочения сильнодефектной области при температуре жидкого азота — 200 кэВ, а при комнатной температуре — 230 кэВ.
It has been researched the defect formation and subsequent solid phase recrystallization in silicon films on sapphire during irradiation with silicon ions at energies in the range from 170 to 230 keV at different temperatures of the substrate. Using the Rutherford back-scattering technique in combination with channeling it has been discovered that the total damage of the strongly defected region depends on the energy of implanted ions. The energy of disordering of the strongly defected region at the temperature of liquid nitrogen is 200 keV and at the room temperature is 230 keV.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 25085462