Статья: Дефекты гибридизации матричных фоточувствительных элементов и схем считывания (2016)

Читать онлайн

Представлены результаты исследований индиевых микроконтактов на кристаллах БИС считывания и матричных фоточувствительных элементов после их гибридизации и последующей расстыковки, зависимости усилия отрыва от площади микроконтактов, а также вероятность появления дефектов БИС считывания после гибридизации. Индиевые микроконтакты на кристаллах БИС считывания изготовлены по технологии ионного травления, на кристаллах МФЧЭ методом химического травления. Исследованы фотоприемники форматов 320256 с шагом 30 мкм и 640512 с шагом 15 мкм на основе антимонида индия.

Bonding of the InSb Detector Array and ROIC via Indium bumps is discussed. We investigated Arrays of 320256 pixels with a pitch of 30 microns and 640512 pixels with a pitch of 15 microns. Indium bumps were formed by the chemical etching method, ionic etching method or lift-off method. A bonding strength is twice more for the lift-off method in comparison with the chemical etching method. Processes of formation of indium bumps by the method of ionic etching and hybridization lead to damage of a top dielectric and, as a consequence, to occur of defects in Columns and Rows of ROIC. Probability of occurrence the defects in ROIC is negligible for the lift-off method of bump formation.

Ключевые фразы: матричный фотоприемник, гибридизация, индиевые микроконтакты, матричный фоточувствительный элемент, БИС считывания
Автор (ы): Иродов Никита Александрович, Болтарь Константин Олегович, Власов Павел Валентинович, Лопухин Алексей Алексеевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.59. Проводники с особо высоким сопротивлением. Полупроводники
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
eLIBRARY ID
27253192
Для цитирования:
ИРОДОВ Н. А., БОЛТАРЬ К., ВЛАСОВ П. В., ЛОПУХИН А. А. ДЕФЕКТЫ ГИБРИДИЗАЦИИ МАТРИЧНЫХ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ И СХЕМ СЧИТЫВАНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №5
Текстовый фрагмент статьи