Архив статей

Дефекты гибридизации матричных фоточувствительных элементов и схем считывания (2016)
Выпуск: №5 (2016)
Авторы: Иродов Никита Александрович, Болтарь Константин Олегович, Власов Павел Валентинович, Лопухин Алексей Алексеевич

Представлены результаты исследований индиевых микроконтактов на кристаллах БИС считывания и матричных фоточувствительных элементов после их гибридизации и последующей расстыковки, зависимости усилия отрыва от площади микроконтактов, а также вероятность появления дефектов БИС считывания после гибридизации. Индиевые микроконтакты на кристаллах БИС считывания изготовлены по технологии ионного травления, на кристаллах МФЧЭ методом химического травления. Исследованы фотоприемники форматов 320256 с шагом 30 мкм и 640512 с шагом 15 мкм на основе антимонида индия.

Сохранить в закладках