С О Д Е Р Ж А Н И Е
ОБЩАЯ ФИЗИКА
Манухин В. В. Расчет полных коэффициентов распыления слоистых неоднородных структур при бомбардировке мишеней легкими ионами 5
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Гаджиев М. Х., Тюфтяев А. С., Акимов П. Л., Саргсян М. А., Демиров Н. А. Исследование электрического пробоя двухфазной смеси трансформаторного масла с пузырьками газа 10
Кузнецов А. Ю., Мурсенкова И. В. Особенности излучения объемного наносекундного разряда в воздухе при взаимодействии с плоской ударной волной 16
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Войцеховский А. В., Несмелов С. Н., Дзядух С. М., Васильев В. В., Варавин В. С., Дворецкий С. А., Михайлов Н. Н., Якушев М. В., Сидоров Г. Ю. Свойства границы раздела в МДП-структурах на основе МЛЭ n-Hg1-xCdxTe (x = 0,29—0,39) с двухслойным диэлектриком CdTe/Al2O3 22
Войцеховский А. В., Григорьев Д. В., Коханенко А. П., Коротаев А. Г., Ижнин И. И., Дворецкий С. А., Михайлов Н. Н. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации бора в эпитаксиальные пленки Hg1-xCdxTe различного состава 27
Андреев Д. С., Чинарева И. В. Исследование двухстадийной диффузии цинка в гетероструктурах InGaAs/InP 32
Власов П. В. Долговременная стабильность матричных фотоприемных устройств на основе антимонида индия формата 640512 элементов с шагом 15 мкм 38
Гаврушко В. В., Кузюков С. Г., Прошкин Ю. Н. Иммерсионные фотоприемники для среднего инфракрасного диапазона оптического излучения 43
Комков О. С., Фирсов Д. Д., Львова Т. В., Седова И. В., Соловьёв В. А., Семёнов А. Н., Иванов С. В. Бесконтактное измерение концентрации электронов в нелегированных гомоэпитаксиальных слоях InSb 47
Иродов Н. А., Болтарь К. О., Власов П. В., Лопухин А. А. Дефекты гибридизации матричных фоточувствительных элементов и схем считывания 51
МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Баранов А. А., Третьякова М. С., Жукова С. А., Турков В. E. Влияние вакуумного отжига на электрофизические свойства пленок оксида ванадия, полученных методом реактивного магнетронного осаждения при постоянном токе 55
Панькин Н. А., Окин М. А., Чистяков Н. И., Сигачев А. Ф., Луконькина А. С. Механические и тепловые свойства титан-алюминиевого композиционного материала, полученного холодным прессованием и твердофазным спеканием 60
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ
Семенов A. М. Нераспыляемый геттер как основное средство откачки в вакуумной камере спиралевидного ондулятора, предназначенного для когерентного электронного охлаждения 65
Антонов Н. Н., Жабин С. Н., Гавриков А. В., Смирнов В. П., Тимирханов Р. А. Исследование эффективности осаждения свинца для задач плазменной сепарации отработавшего ядерного топлива 70
Хайдаров З., Йулдашев Х. Т. Новый фотографический эффект в сверхтонкой газоразрядной ячейке с полупроводниковым электродом 75
Кремис И. И., Калинин В. С., Федоринин В. Н., Корсаков Ю. М., Шатунов К. П. Сканирующий тепловизионный прибор на базе отечественного фотоприемного устройства 81
Стрелов В. И., Бендрышев Ю. Н., Косушкин В. Г. Высокоэффективные теплоотводы нового поколения для электронных изделий 86
Багдасаров С. Б., Богданов И. В., Величко А. Н., Константинова Т. А., Сенченков П. А., Степовой А. В. Программное обеспечение для управления оптическим стендом фоноцелевой обстановки 92
ПЕРСОНАЛИИ
Юбилей Л. М. Василяка 96
ИНФОРМАЦИЯ
Правила для авторов 98
Подписка через Издателя 101
C O N T E N T S
GENERAL PHYSICS
V. V. Manukhin Calculation of total sputtering coefficients of layered heterogeneous structures at bombarding a target by light ions 5
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
M. Kh. Gadzhiev, A. S. Tyuftyaev, P. L. Akimov, M. A. Sargsyan, and N. A. Demirov Investigation of the electric breakdown in a two-phase mixture of transformer oil and gas bubbles 10
A. Yu. Kuznetsov and I. V. Mursenkova Features of a radiation of the nanosecond volume discharge interacting with a plane shock wave in air 16
PHOTOELECTRONICS
A. V. Voitsekhovskii, S. N. Nesmelov, S. M. Dzyadukh, V. V. Vasil’ev, V. S. Varavin, S. A. Dvoretsky, N. N. Mikhailov, M. V. Yakushev, and G. Yu. Sidorov The interface properties of MIS structures based on MBE n-Hg1-xCdxTe (x = 0.29—0.39) with a two-layer insulator CdTe/Al2O3 22
A. V. Voitsekhovskii, D. V. Grigoryev, A. P. Kokhanenko, A. G. Korotaev, I. I. Iznin, S. A. Dvoretskii, and N. N. Mikhailov Radiation defect formation at boron implantation in Hg1-xCdxTe epitaxial films with different material composition 27
D. S. Andreev and I. V. Chinareva Research of the two-phase diffusion of zinc in the InGaAs/InP heterostructures 32
P. V. Vlasov Long-term stability of the InSb 640512 FPA with the pitch of 15 µm 38
V. V. Gavruško, S. G. Kuzûkov, and Y. N. Proshkin Immersion photodetectors for the middle infrared range of optical radiation 43
O. S. Komkov, D. D. Firsov, T. V. Lvova, I. V. Sedova, V. A. Solov’ev, A. N. Semenov, S. V. Ivanov Contactless determination of electron concentration in the undoped homoepitaxial InSb layers 47
N. A. Irodov, K. O. Boltar, P. V. Vlasov, and A. A. Lopukhin Defects at hybridization of the Detector Array and ROIC 51
MATERIALS SCIENCE
A. A. Baranov, M. S. Tretyakova, S. A. Zhukova, and V. E. Turkov Influence of vacuum annealing on electrical properties of vanadium oxide thin films deposited by reactive DC magnetron sputtering 55
N. A. Pan’kin, M. A. Okin, N. I. Chistyakov, A. F. Sigachev, A. S. Lukon’kina Mechanical and thermal properties of the aluminum-titanium composite material obtained by cold pressing and sintering the solid phase 60
PHYSICAL APPARATUS AND ITS ELEMENTS
A. M. Semenov NEG as the main pumpdown facility in a chamber of a helical undulator for coherent electron cooling 65
N. N. Antonov, S. N. Zhabin, A. V. Gavrikov, V. P. Smirnov, and R. A. Timirkhanov The study of a lead deposition efficiency applied for the plasma separation method of a spent nuclear fuel 70
Z. Khaidarov and Kh. T. Yuldashev A new positive photographic effect in the superthin gas discharge cell with a semiconductor electrode 75
I. I. Kremis, V. S. Kalinin, V. N. Fedorinin, Yu. M. Korsakov, and K. P. Shatunov The scanning thermal imaging device on the basis of a domestic photodetector device 81
V. I. Strelov, Yu. N. Bendryshev, and V. G. Kosushkin A high-performance heat sinks of a new generation for electron devices 86
S. B. Bagdasarov, I. V. Bogdanov, A. N. Velichko, T. A. Konstantinova, P. A. Senchenkov, and A. V. Stepovoy Software for optical bench of background and target situation control 92
PERSONALIA
Jubilee of L. M. Vasilyak 96
INFORMATION
Rules for authors 98
Subscription by means of Publisher 101
Статьи в выпуске: 14
Апробация метода плазменной сепарации отработавшего ядерного топлива подразумевает использование модельных веществ, при этом необходимо решить задачи перевода модельного вещества из конденсированного состояния в плазменное, а также его сбора на коллекторы. В настоящей работе представлены результаты изучения коэффициента конденсации Pb на поверхность коллектора. На основании экспериментальных данных и созданной с применением метода Монте-Карло расчетной модели было определено, что значения этого коэффициента превышают 75 % при средних температурах коллектора порядка 70 оС.
В статье описаны вакуумные камеры, которые были изготовлены в ИЯФ СО РАН как компоненты ондуляторов, предназначенных, в свою очередь, для проверки возможности уменьшения энергетического разброса адронного (ионного) пучка в модернизированном ускорителе RHIC (США) путем когерентного электронного охлаждения этого пучка. Для реализации данного процесса необходимо обеспечить сверхвысокий вакуум на уровне 10-9 Торр, что невозможно достичь только обычной откачкой вакуумными насосами из-за низкоапертурности и протяженности указанных вакуумных камер. В данных условиях в качестве основного средства откачки остаточного газа предложено использовать нераспыляемый геттер (поглотитель), нанесенный на внутреннюю стенку камеры. Описан способ нанесения нераспыляемого в процессе работы геттера на основе системы «титанцирконийванадий» с температурой активации 180200 ºС, а также приводятся экспериментальные результаты газопоглощающих свойств этого геттера.
Изучены механические и тепловые свойства (Ti, Al)-композита, полученного холодным прессованием смеси порошков титана и алюминия с последующим твердофазным спеканием на воздухе. Получены зависимости плотности, твердости, коэффициентов теплового расширения и температуропроводности от содержания титана и давления прессования. Их значения определяются свойствами исходных компонентов (алюминия, титана), наличием порового пространства и процессами, протекающими при твердофазном спекании.
В работе представлены результаты исследования влияния вакуумного отжига на микроструктуру, фазовый состав и электрофизические свойства пленок VOX, полученных методом реактивного магнетронного осаждения. Исследование кристаллической структуры и фазового состава проводилось методом рентгеноструктурного анализа в геометрии параллельного пучка. Определение электрофизических свойств пленок VOX было проведено с помощью метода длинной линии. Было установлено, что вакуумный отжиг осажденных при комнатной температуре пленок VOX, имеющих рентгено-аморфную структуру, сопровождается снижением содержания кислорода, приводящим к уменьшению сопротивления и ТКС с сохранением аморфной структуры при 200 оС и образованием кристаллических фаз VO2 и V4O7 при 300 оС и 400 оС соответственно.
Представлены результаты исследований индиевых микроконтактов на кристаллах БИС считывания и матричных фоточувствительных элементов после их гибридизации и последующей расстыковки, зависимости усилия отрыва от площади микроконтактов, а также вероятность появления дефектов БИС считывания после гибридизации. Индиевые микроконтакты на кристаллах БИС считывания изготовлены по технологии ионного травления, на кристаллах МФЧЭ методом химического травления. Исследованы фотоприемники форматов 320256 с шагом 30 мкм и 640512 с шагом 15 мкм на основе антимонида индия.
При помощи инфракрасного фурье-спектрометра измерялись спектры фотоотражения нелегированного InSb, выращенного методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложке n+-InSb. По периоду наблюдаемых при низких температурах осцилляций Франца–Келдыша определялась напряжённость приповерхностного электрического поля. Поскольку значение пиннинга уровня Ферми стабилизировалось обработкой образцов в водном растворе Na2S, величина поля зависела, в основном, от концентрации свободных носителей заряда. Обнаружено влияние температуры предварительного отжига подложки на концентрацию электронов в эпитаксиальном слое.
Исследованы неохлаждаемые иммерсионные фотоприемники для среднего инфракрасного диапазона на основе гетероэпитаксиальных структур InxGa1-xAsySb1-y/GaSb при значениях x = 0,18, y = 0,17. Приведены сведения о технологии и конструкции фотодиодов. Произведена оценка потерь излучения в стыковочном узле, составляющая от 19 до 24 % для линз, изготовленных из стекла, CdTe, SrTiO3. Измерены диаграммы направленности излучения иммерсионных фотоприемников, которые показали усиление сигнала на оси в 2—3 раза при углах обзора 80—90 градусов по уровню 0,5. Приведена спектральная характеристика, имеющая nобразный вид с границами чувствительности 1,8—2,24 мкм.
Исследована долговременная стабильность МФПУ на основе антимонида индия формата 640512 элементов с шагом 15 мкм с охладителем типа интегральный Стирлинг и блоком сопряжения. Получены зависимости показателя корректируемости от времени работы МФПУ после проведения двухточечной коррекции неоднородности. Рассмотрены МФПУ с двумя схемами ячейки БИС считывания, отличающиеся емкостями накопления и коэффициентами передачи в ячейке. Время долговременной стабильности МФПУ на основе InSb составляет несколько часов, что обеспечивают длительную работу устройства в тепловизионных системах без дополнительной калибровки.
Авторами исследовалась возможность подавления раннего краевого пробоя в планарных лавинных фотодиодах на основе гетероэпитаксиальных структур InP/InGaAs. Для этого использовалась диффузия цинка в запаянной ампуле при температурах 500 °С, 450 °С. Определены распределение носителей заряда в диффузионном слое и глубина диффузии как в монокристаллическом InP, так и в лавинной структуре на основе InP/InGaAs в зависимости от режима проведения диффузии. Распределение носителей заряда в диффузионном слое в монокристаллическом InP определялось методом электрохимического профилирования с последующим измерением CV-характеристик барьера электролит-полупроводник, а глубина p–nперехода в лавинной структуре путем пересчета CV-характеристик p–n-переходов. В результате использования двухстадийной диффузии цинка была получена конфигурация p–nперехода с заглубленной на 1,5 мкм центральной областью и мелкой периферией (охранным кольцом) на глубине 0,65 мкм. При этом напряжение пробоя фотодиода с охранным кольцом превышает на 3В напряжение пробоя фотодиода без охранного кольца, а уровень темновых токов у всех фотодиодов вплоть до пробоя не превышает 10 нА.
В работе проведено исследование специфики формирования и эволюции электрически активных радиационных дефектов при имплантации ионов бора в эпитаксиальные пленки Hg1-xCdxTe с различным составом в области внедрения имплантанта. Эпитаксиальные пленки, выращенные методом молекулярно-лучевой эпитаксии, облучались ионами бора с энергией 100 кэВ в диапазоне флюенса 1012—1015 см-2. Измерение электрофизических параметров образцов до и после облучения производилось методом ЭДС Холла в конфигурации Ван-дер-Пау. Распределение объемной концентрации электронов по глубине облученного материала определялось методом дифференциальных холловских измерений. Полученные экспериментальные данные однозначно показывают, что результаты ионной имплантации определяются зависимостью динамики накопления электрически активных радиационных дефектов и электрофизических свойств материала от состава КРТ.
Экспериментально исследованы параметры пассивирующих слоев Al2O3 и двухслойного диэлектрика CdTe/Al2O3 путем измерения адмиттанса МДП-структур на основе МЛЭ n-Hg1-xCdxTe (x = 0,29—0,39) с приповерхностными варизонными слоями с повышенным содержанием CdTe. Показано, что структура с двухслойным диэлектриком CdTe/Al2O3 имеет по сравнению со структурой с одним слоем Al2O3 существенно меньшие значения плотности медленных состояний на границе раздела (в 50—100 раз) и плотности быстрых поверхностных состояний (в 50—100 раз). Можно сделать вывод, что двухслойный диэлектрик CdTe/Al2O3 образует качественную границу раздела с n-Hg1-xCdxTe (x = 0,39).
Экспериментально исследовано излучение импульсного комбинированного объёмного разряда с плазменными электродами в воздухе длительностью ~300 нс в присутствии плоской ударной волны внутри разрядного объема и после выхода ударной волны за его пределы. Проведена регистрация излучения разряда с наносекундным разрешением при числах Маха ударной волны 3— 3,5, начальном давлении перед фронтом волны 10—30 Торр, напряжении 25—30 кВ. Обнаружен двухступенчатый характер затухания свечения плазменной области длительностью более 2000 нс после взаимодействия с фронтом ударной волны. Проанализированы кинетические процессы, приводящие к продолжительному излучению узкой зоны вблизи фронта ударной волны после прекращения тока разряда.
Описана установка для исследования электрического пробоя двухфазной среды трансформаторного масла с пузырьками газа на основе источника питания с удвоителем напряжения. Исследованы электрические, оптические и спектральные характеристики разряда. Показано, что в промежутке происходят периодические разряды с частотой до 1 кГц. Наибольшим пробивным напряжением обладает проточное чистое масло. Наличие пузырьков воздуха или элегаза снижает напряжение электрического пробоя и наиболее близким пробивным значением к чистому трансформаторному маслу является двухфазная среда с элегазом.
На основе модели распыления слоисто-неоднородных поверхностей легкими ионами, получена аналитическая формула, позволяющая рассчитывать полные коэффициенты распыления слоев неоднородности с поверхности твердого тела легкими ионами. Результаты расчетов хорошо согласуются с данными компьютерного моделирования, и показывают, что при распылении с поверхности подложки слоя материала, состоящего из атомов массой существенно меньшей, чем масса атомов подложки, наблюдается существенное увеличение коэффициента распыления («эффект зеркала») атомов слоя.