Статья: Влияние вакуумного отжига на электрофизические свойства пленок оксида ванадия, полученных методом реактивного магнетронного осаждения при постоянном токе (2016)

Читать онлайн

В работе представлены результаты исследования влияния вакуумного отжига на микроструктуру, фазовый состав и электрофизические свойства пленок VOX, полученных методом реактивного магнетронного осаждения. Исследование кристаллической структуры и фазового состава проводилось методом рентгеноструктурного анализа в геометрии параллельного пучка. Определение электрофизических свойств пленок VOX было проведено с помощью метода длинной линии. Было установлено, что вакуумный отжиг осажденных при комнатной температуре пленок VOX, имеющих рентгено-аморфную структуру, сопровождается снижением содержания кислорода, приводящим к уменьшению сопротивления и ТКС с сохранением аморфной структуры при 200 оС и образованием кристаллических фаз VO2 и V4O7 при 300 оС и 400 оС соответственно.

Consideration is given to results of the investigation of the influence of vacuum annealing on structure, phase composition and electrical properties of vanadium oxide thin films deposited by reactive DC magnetron sputtering. Structural properties of VOx thin films has been investigated by Grazing incidence X-ray diffraction (GIXRD). The transmission line method was used to determine sheet resistance, contact resistance and TCR of the thin films. GIXRD test indicates that room temperature deposited films are amorphous. It was found that sheet resistance and TCR of the thin films decrease with increasing annealing temperature due to the reduction of the oxygen content in films during the annealing process. The vacuum annealing at 300 oC and 400 oC induces formation of VO2 and V4O7, respectively.

Ключевые фразы: неохлаждаемый, микроболометр, оксид ванадия, реактивное магнетронное осаждение, метод длинной линии
Автор (ы): Баранов Александр Александрович, Третьякова Мария Сергеевна, Жукова Светлана Александровна, Турков Владимир Евгеньевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
539.216.2. Пленки. Тонкие пленки
681.7. Оптические приборы и аппаратура
eLIBRARY ID
27253193
Для цитирования:
БАРАНОВ А. А., ТРЕТЬЯКОВА М. С., ЖУКОВА С. А., ТУРКОВ В. Е. ВЛИЯНИЕ ВАКУУМНОГО ОТЖИГА НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ОКСИДА ВАНАДИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ ПРИ ПОСТОЯННОМ ТОКЕ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №5
Текстовый фрагмент статьи