Статья: Расчет полных коэффициентов распыления слоистых неоднородных структур при бомбардировке мишеней легкими ионами (2016)

Читать онлайн

На основе модели распыления слоисто-неоднородных поверхностей легкими ионами, получена аналитическая формула, позволяющая рассчитывать полные коэффициенты распыления слоев неоднородности с поверхности твердого тела легкими ионами. Результаты расчетов хорошо согласуются с данными компьютерного моделирования, и показывают, что при распылении с поверхности подложки слоя материала, состоящего из атомов массой существенно меньшей, чем масса атомов подложки, наблюдается существенное увеличение коэффициента распыления («эффект зеркала») атомов слоя.

There is an analytical formula allowing to calculate the sputtering yields of heterogonous solid targets with light ions, based on the model of sputtering layered surfaces with light ions. The results of the calculations are in good agreement with the data of computer simulation, and show that the sputtering yields layers with a certain thickness, higher than the sputtering yields of homogeneous material layer targets (“mirror effect”).

Ключевые фразы: РАСПЫЛЕНИЕ, ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА, слоисто-неоднородные поверхности, КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ, легкие ионы
Автор (ы): Манухин Владимир Владимирович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
538.93. Явления переноса (кроме переноса в квантовых жидкостях и твердых телах)
eLIBRARY ID
27253183
Для цитирования:
МАНУХИН В. В. РАСЧЕТ ПОЛНЫХ КОЭФФИЦИЕНТОВ РАСПЫЛЕНИЯ СЛОИСТЫХ НЕОДНОРОДНЫХ СТРУКТУР ПРИ БОМБАРДИРОВКЕ МИШЕНЕЙ ЛЕГКИМИ ИОНАМИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №5
Текстовый фрагмент статьи