Статья: Радиационное дефектообразование при ионной имплантации бора в эпитаксиальные пленки Hg1-xCdxTe различного состава (2016)

Читать онлайн

В работе проведено исследование специфики формирования и эволюции электрически активных радиационных дефектов при имплантации ионов бора в эпитаксиальные пленки Hg1-xCdxTe с различным составом в области внедрения имплантанта. Эпитаксиальные пленки, выращенные методом молекулярно-лучевой эпитаксии, облучались ионами бора с энергией 100 кэВ в диапазоне флюенса 1012—1015 см-2. Измерение электрофизических параметров образцов до и после облучения производилось методом ЭДС Холла в конфигурации Ван-дер-Пау. Распределение объемной концентрации электронов по глубине облученного материала определялось методом дифференциальных холловских измерений. Полученные экспериментальные данные однозначно показывают, что результаты ионной имплантации определяются зависимостью динамики накопления электрически активных радиационных дефектов и электрофизических свойств материала от состава КРТ.

The aim of this paper is to investigate the specific properties of the formation and accumulation of the spatial distribution of electrically active radiation defects after B ion implantation in Hg1-xCdxTe (MCT) epitaxial films of different material composition (x) in the region of introduction of the implant. The films, grown by molecular beam epitaxy (MBE) were irradiated by B ions at room temperature in the radiation dose range 1012—1015 ions/cm2 and with ion energy 100 keV. Measurements of the electro-physical parameters of the samples before and after irradiation were made at the temperature of liquid nitrogen using the Hall Electromotive Force method in the Van-der-Pau configuration. The electron concentration distribution as a function of semiconductor depth was determined by the method of differential Hall measurements using an etching process. The experimental results are shown that the material composition (x) of an epitaxial film significantly effect on boron implantation results and determine both the electrical parameters of the implanted layer, and the spatial distribution of the donor type radiation defects.

Ключевые фразы: теллурид кадмия ртути, эпитаксиальные пленки, имплантация, радиационное дефектообразование, электрофизические параметры
Автор (ы): Войцеховский Александр Васильевич, Григорьев Денис Валерьевич, Коханенко Андрей Павлович, Коротаев Александр Григорьевич, Ижнин Игорь Иванович, Дворецкий Сергей Алексеевич, Михайлов Николай Николаевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.592. Полупроводники
eLIBRARY ID
27253187
Для цитирования:
ВОЙЦЕХОВСКИЙ А. В., ГРИГОРЬЕВ Д. В., КОХАНЕНКО А. П., КОРОТАЕВ А. Г., ИЖНИН И. И., ДВОРЕЦКИЙ С. А., МИХАЙЛОВ Н. Н. РАДИАЦИОННОЕ ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЕ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ БОРА В ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ HG1-XCDXTE РАЗЛИЧНОГО СОСТАВА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №5
Текстовый фрагмент статьи