Статья: Бесконтактное измерение концентрации электронов в нелегированных гомоэпитаксиальных слоях InSb (2016)

Читать онлайн

При помощи инфракрасного фурье-спектрометра измерялись спектры фотоотражения нелегированного InSb, выращенного методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложке n+-InSb. По периоду наблюдаемых при низких температурах осцилляций Франца–Келдыша определялась напряжённость приповерхностного электрического поля. Поскольку значение пиннинга уровня Ферми стабилизировалось обработкой образцов в водном растворе Na2S, величина поля зависела, в основном, от концентрации свободных носителей заряда. Обнаружено влияние температуры предварительного отжига подложки на концентрацию электронов в эпитаксиальном слое.

A Fourier-transform infrared spectrometer has been employed to measure the photoreflectance spectra of undoped InSb samples grown by molecular beam epitaxy on n+-InSb substrates. The intensity of the surface electric field has been determined from the period of the Franz-Keldysh oscillations at low temperatures. Since the surface Fermi level pinning has been stabilized by treating the samples in an aqueous solution of Na2S, the field intensity depends mainly on the free carrier concentration. This has allowed us to observe the influence of the temperature of preliminary substrate annealing on the electron concentration in the undoped epitaxial InSb layers.

Ключевые фразы: антимонид индия, InSb, фотоотражение, фурье-спектроскопия, гомоэпитаксиальные слои, осцилляции франца–келдыша
Автор (ы): Комков Олег Сергеевич, Фирсов Дмитрий Дмитриевич, Львова Татьяна Викторовна, Седова Ирина Владимировна, Соловьёв Виктор Алексеевич, Семёнов Алексей Николаевич, Иванов Сергей Викторович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.592. Полупроводники
eLIBRARY ID
27253191
Для цитирования:
КОМКОВ О. С., ФИРСОВ Д. Д., ЛЬВОВА Т. В., СЕДОВА И. В., СОЛОВЬЁВ В. А., СЕМЁНОВ А. Н., ИВАНОВ С. В. БЕСКОНТАКТНОЕ ИЗМЕРЕНИЕ КОНЦЕНТРАЦИИ ЭЛЕКТРОНОВ В НЕЛЕГИРОВАННЫХ ГОМОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЯХ INSB // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №5
Текстовый фрагмент статьи