Влияние кислородных преципитатов на темновой ток кремниевых фотодиодов (2023)
Проведено сравнение распределений темновых токов, времени жизни неосновных носителей заряда и микродефектов, выявляемых селективным травлением. Показано, что основной причиной повышенных темновых токов и пониженной фото-чувствительности в кремниевых фотодиодах, изготовленных на кремнии n-типа, изготовленным методом Чохральского, являются генерационно-рекомбинационные процессы на мелких окисных преципитатах.
Издание:
Успехи прикладной физики
Выпуск:
Том 11 № 6 (2023)