Исследована зависимость значений () и однородности распределения времени жизни (/) неосновных носителей заряда (ННЗ) в кремнии n-типа от поверхностного сопротивления диффузионного слоя фосфора и показано отсутствие такой зависимости при диффузии бора. Показано, что увеличение концентрации фосфора приводит к увеличению времени жизни ННЗ и его неоднородности / и сопровождается изменениями в размерах и плотности микродефектов. Гомогенизирующая термическая обработка в кислороде при 1100 оС (tabula rasa) была использована для уменьшения не-равномерность в распределении времени жизни / ННЗ при последующих диффузионных процессах при сохранении достаточно высоких значений τ. Обсуждаются механизмы генерации микродефектов при диффузионных процессах.
The effect of sheet resistance on an lifetime (τ) and microdefect concentration in the n-doped Czochralsky (Cz-Si) silicon after diffusion phosphorus and born at high temperatures has been investigated. It was indicated that increase in an phosphorus concentration promote increase in lifetime, inhomogeneous in lifetime and microdefect density. The increase in ring-like pat-terns size after phosphorus diffusion was observed. This ring patterns are weaker for boron diffusion. A high temperature step (tabula rasa) at 1100 oC in oxygen was used for mitigate in-homogeneous in the lifetime and microdefect density during subsequent diffusion treatments. The mechanisms for promoting generation of induced defects during diffusion treatments are discussed.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 37309113
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.