Исследована зависимость значений () и однородности распределения времени жизни (/) неосновных носителей заряда (ННЗ) в кремнии n-типа от поверхностного сопротивления диффузионного слоя фосфора и показано отсутствие такой зависимости при диффузии бора. Показано, что увеличение концентрации фосфора приводит к увеличению времени жизни ННЗ и его неоднородности / и сопровождается изменениями в размерах и плотности микродефектов. Гомогенизирующая термическая обработка в кислороде при 1100 оС (tabula rasa) была использована для уменьшения не-равномерность в распределении времени жизни / ННЗ при последующих диффузионных процессах при сохранении достаточно высоких значений τ. Обсуждаются механизмы генерации микродефектов при диффузионных процессах.
The effect of sheet resistance on an lifetime (τ) and microdefect concentration in the n-doped Czochralsky (Cz-Si) silicon after diffusion phosphorus and born at high temperatures has been investigated. It was indicated that increase in an phosphorus concentration promote increase in lifetime, inhomogeneous in lifetime and microdefect density. The increase in ring-like pat-terns size after phosphorus diffusion was observed. This ring patterns are weaker for boron diffusion. A high temperature step (tabula rasa) at 1100 oC in oxygen was used for mitigate in-homogeneous in the lifetime and microdefect density during subsequent diffusion treatments. The mechanisms for promoting generation of induced defects during diffusion treatments are discussed.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 37309113
Показано, что на величину времени жиз-ни неосновных носителей заряда (ННЗ), неравномерности /, концентрации и типа МД при диффузионных процессах влияют не только температура, но и вид примеси и ее концентрация. Приведенные результаты показывают сильное влияние концентрации фос-фора при значениях больше (2–4)×1019 см-3 (соответственно Rs < 10 Ом/□) на концентрацию и размеры КП и более слабое влияние в случае диффузии бора. Существует пороговая величина дозы фосфора (Rs 10 Ом/□), соответствующая поверхностной концентрации (2–4)1019 см-3, при которой наблюдается резкое увеличение значений , / и концентрации ДУ. Полученные результаты можно объяснить одновременным влиянием увеличения концентрации вакансий на размеры и плотность кислородных преципитатов и геттерирования металлических примесей диффузионными областями с высокой концентрацией фосфора (Rs < 10 Ом/□), что согласуется с результатами работ по выращиванию слитков с высоким уровнем легирования бором, фосфором и мышьяком. Предварительный отжиг при 1100 оС значительно снижает неравномерность в распределении времени жизни / ННЗ при последующих диффузионных процессах при со-хранении достаточно высоких значений .
Список литературы
1. Chun-lan Zhou, Wen-Jing Wang, Hai-Ling Li, Lei Zhao, Hong-Wei Diao, LI-Xu-Dong // Chinese Physical Letters. 2008. Vol. 25. No. 06. P. 3005.
2. Haunschild J., Reis I. T., Geilker J., Rein S. // Physica Status Solidi RRL. 2011. No. 5–6. P. 199.
3. Le Donne A., Binetti S., Folegatti V., Coletti G. // Applied Physics Letters. 2016. Vol. 109. P. 033907.
4. Murphy J. D., McGuire R. E., Bothe K., Voron- kov V. V., Falster R. // Solar Energy Materials and Solar Cells. 2014. Vol. 120. P. 402.
5. Вильдяева М. Н., Демидов С. С., Климанов Е. А., Ляликов А. В., Фокина А. С. // Успехи прикладной фи-зики. 2017. Т. 5. № 3. С. 282.
6. Murphy J. D., Al-Amin M., Bothe K., Olmo M., Voronkov V. V., Falster R. J. // Journal of Applied Physics. 2015. Vol. 118. No. 21. P. 215706.
7. Falster R. J., Cornara M., Gombaro D., Ohno M. // Solid State Phenom. 1997. Vol. 57–58. P. 123.
8. Basnet R., Rougieux F. E., Sun C., Phang S. P., Samundsett C., Einhaus R., Degoulange J., Macdonald D. // IEEE journal of fotovoltaics. 2018. Vol. 8. No. 4. P. 990.
9. LaSalvia V., Yossef A., Jensen M. A., Looney E. E., Nemeth W., Page M., Nam W., Buonassisi T., Stradins P. Tabula Rasa for n-Cz silicon-based photovoltaics / Proc. Photovolt. Res. Appl., 2018. P. 1–8.
10. Hasebe M., Takeoka Y., Shinoyama S., Naito S. // Japanese Journal of Applied Physics. 1989. Vol. 28. P. L1999–L2002.
11. Marsden K., Sadamitsu S., Yamamoto T., Shi-gematsu T. // Japanese Journal of Applied Physics. 1995. Vol. 34. P. 2974.
12. Вильдяева М. Н., Демидов С. С., Климанов Е. А., Ляликов А. В., Фокина А. С. // Прикладная физика. 2017. № 6. С. 54.
13. Вильдяева М. Н., Демидов С. С., Климанов Е. А., Ляликов А. В., Скребнева П. С. // Прикладная физика. 2018. № 3. С. 33.
14. Secco d’Aragona F. // J. Electrochemical Society. 1972. Vol. 119. No. 7. P. 948.
15. SEMI MF1809-0704, Guide for selection and use of etching solution to delineate structural defects in silicon.
16. Voronkov V. V., Falster R. J. // J. Applied Phy-sics. 2000. Vol. 87. No. 9-1. P. 4126.
17. Porrini M., Voronkov V. V., Giannattasio A. // ECS Transaction. 2018. No. 7. P. 73.
18. Mahajan S., Rozgonyi G. A., Brasen D. // Ap-plied Physics Letters. 1977. Vol. 30. No. 2. P. 73.
19. Sugimura W., Ono T., Umeno S., Hourai M., Sueoka K. // ECS Transaction. 2006. Vol. 2. No. 2. P. 95.
20. Haringer S., Gambaro D., Porrini M. // Journal of Crystal Growth. 2017. Vol. 457. P. 325.
1. Zhou Chun-lan, Wang Wen-Jing, Li Hai-Ling, Zhao Lei, Diao Hong-Wei, and Li-Xu-Dong, Chinese Physical Let-ters 25 (06), 3005 (2008).
2. J. Haunschild, I. T. Reis, J. Geilker, and S. Rein, Physica Status Solidi RRL, No. 5–6, 199 (2011).
3. A. Le Donne, S. Binetti, V. Folegatti, and G. Coletti, Applied Physics Letters 109, 033907 (2016).
4. J. D. Murphy, R. E. McGuire, K. Bothe, V. V. Voronkov, and R. Falster, Solar Energy Materials and Solar Cells 120, 402 (2014).
5. M. N. Vil’dyaeva, S. S. Demidov, E. A. Klimanov, A. V. Lyalikov, and A. S. Fokina, Usp. Prikl. Fiz. 5 (3), 282 (2017).
6. J. D. Murphy, M. Al-Amin, K. Bothe, M. Olmo, V. V. Voronkov, and R. J. Falster, Journal of Applied Physics 118, 215706 (2015).
7. R. J. Falster, M. Cornara, D. Gombaro, and M. Ohno, Solid State Phenom. 57–58, 123 (1997).
8. R. Basnet, F. E. Rougieux, C. Sun, S.P. Phang, C. Samundsett, R. Einhaus, J. Degoulange, and D. Macdonald, IEEE journal of fotovoltaics 8 (4), 990 (2018).
9. V. LaSalvia, A. Yossef, M. A. Jensen, E. E. Looney, W. Nemeth, M. Page, W. Nam, T. Buonassisi, and P. Stra-dins, in Proc. Photovolt. Res. Appl., (2018), p.1-8.
10. M. Hasebe, Y. Takeoka, S. Shinoyama ,and S. Naito, Japanese Journal of Applied Physics 28, L1999-L2002 (1989).
11. K. Marsden, S. Sadamitsu, T. Yamamoto, and T. Shigematsu, Japanese Journal of Applied Physics 34, 2974 (1995).
12. M. N. Vil’dyaeva, S. S. Demidov, E. A. Klimanov, A. V. Lyalikov, and A. S. Fokina, Prikl. Fiz., No. 6, 54 (2017).
13. M. N. Vil’dyaeva, E. A. Klimanov, A. V. Lyalikov, and P. S. Skrebneva, Prikl. Fiz., No. 3, 33 (2018).
14. F. Secco d’Aragona, J. Electrochemical Society 119 (7), 948 (1972).
15. SEMI MF1809-0704, Guide for selection and use of etching solution to delineate structural defects in silicon.
16. V. V. Voronkov and R. J. Falster, J. Applied Physics 87 (9-1), 4126 (2000).
17. M. Porrini, V. V. Voronkov, and A. Giannattasio, ECS Transaction, No. 7, 73 (2018).
18. S. Mahajan, G. A. Rozgonyi, and D. Brasen, Applied Physics Letters 30 (2), 73 (1977).
19. W. Sugimura, T. Ono, S. Umeno, M. Hourai, and K. Sueoka, ECS Transaction 2 (2), 95 (2006).
20. S. Haringer, D. Gambaro, and M. Porrini, Journal of Crystal Growth 457, 325 (2017).
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Гребенщиков С. Е., Харчев Н. К., Васильков Д. Г. Измерение поглощаемой СВЧ-мощности при ЭЦР-нагреве плазмы в стеллараторе Л-2М 5
Давыдов С. Г., Долгов А. Н., Карпов М. А., Корнеев А. В., Никишин Д. В., Пшеничный А. А., Якубов Р. Х. Высокоскоростная регистрация изображений вакуумно-дугового разряда в оптическом диапазоне спектра 15
Сапронова Т. М., Ульянов К. Н. Теория высоковольтного тлеющего разряда с генерацией моноэнергетического пучка электронов 21
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Войцеховский А. В., Кульчицкий Н. А., Несмелов С. Н., Дзядух С. М., Варавин В. С., Дво-рецкий С. А., Михайлов Н. Н., Якушев М. В., Сидоров Г. Ю. Исследование дифференциального сопротивления МДП-структур на основе n-Hg0,78Cd0,22Te с приповерхностными варизонными слоями 28
Соляков В. Н. Тепловизионный метод контроля локальных дефектов фотоэлектрических преобразова-телей солнечного излучения 33
Стучинский В. А., Вишняков А. В., Сидоров Г. Ю. Пороговые характеристики многоэлементных фотодиодных ФПУ, определенные с ис-пользованием различных методов засветки 39
ФИЗИЧЕСКОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Вильдяева М. Н., Климанов Е. А., Нури М. А., Скребнева П. С. Влияние режимов диффузионных процессов на время жизни неосновных носителей за-ряда в кремнии, выращенном методом Чохральского 46
Березин В. М., Клещев Д. Г., Жеребцов Д. А. Особенности формирования нанопленок висмута на стекле электронно-лучевым распы-лением 53
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ
Василяк Л. М., Ветчинин С. П., Печеркин В. Я., Яненко Ю. Б. Термокондуктометрический метод детектирования водорода в многокомпонентных га-зовых смесях 60
Гибин И. С., Козик В. И., Нежевенко Е. С. Источники излучения для проекторов инфракрасных сцен 67
Котов В. М. Выравнивание интенсивностей лучей четырехцветного лазерного излучения 74
Правдивцев А. В. Влияние конструктивных элементов объективов на дополнительную облученность фоточувствительных элементов неохлаждаемых ИК МФПУ 79
ИНФОРМАЦИЯ
Правила для авторов 86
C O N T E N T S
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
S. E. Grebenshchikov, N. K. Kharchev, and D. G. Vasilkov Measurement of the absorbed microwave power during plasma ECR heating in the L-2M stellar-ator 5
S. G. Davydov, A. N. Dolgov, M. A. Karpov, A. V. Korneev, D. V. Nikishin, A. A. Pshenichniy, and R. Kh. Yakubov High-speed recording of vacuum arc discharge images optical range 15
T. M. Sapronova and K. N. Ulyanov Theory of high-voltage glow discharge with the generation of a monoenergetic electron beam 21
PHOTOELECTRONICS
A. V. Voitsekhovskii, N. A. Kulchitsky, S. N. Nesmelov, S. M. Dzyadukh, V. S. Varavin, S. A. Dvo-retsky, N. N. Mikhailov, M. V. Yakushev, and G. Yu. Sidorov Investigation of the differential resistance of MIS-structures based on n-Hg0.78Cd0.22Te with near-surface graded-gap layers 28
V. N. Solyakov Thermal imaging method for monitoring local defects of photoelectric solar radiation converters 33
V. A. Stuchinsky, A. V. Vishnyakov, and G. Yu. Sidorov Threshold characteristics of multi-element photodiode detectors determined using different illumination conditions 39
PHYSICAL SCIENCE OF MATERIALS
M. N. Vil’dyaeva, E. A. Klimanov, M. A. Nuri, and P. S. Skrebneva The influence of diffusion processes on the lifetime of minority charge carriers in silicon grown by the Czochralski method 46
V. M. Berezin, D. G. Kleschev, and D. A. Zherebtsov Features of the formation of bismuth nanofilms on glass by electron beam spraying 53
PHYSICAL APPARATUS AND ITS ELEMENTS
L. M. Vasilyak, S. P. Vetchinin, V. Ya. Pecherkin, and Yu. B. Yanenko Thermoconductometric method of hydrogen detection in multicomponent gas mixtures 60
I. S. Gibin, V. I. Kozik, and E. S. Nejevenko Sources of radiation for infrared projectors 67
V. M. Kotov Equalization of the beams intensities of the four-color laser radiation 74
A. V. Pravdivtsev The influence of lens design elements on the additional irradiance of photo-sensitive elements of uncooled IR FPA 79
INFORMATION
Rules for authors 86
Другие статьи выпуска
В статье рассматривается влияние конструктивных элементов оправ ИК объектива, предназначенного для работы в диапазоне 8,5–12 мкм, на величину дополнительной (паразитной) облученности фоточувствительных элементов. Дополнительная облученность матричного фотоприёмного устройства (МФПУ) складывается из изучения от внешних источников, рассеянных на элементах объектива и собственного излучения оптической системы. Вклад каждой из составляющих зависит от внешних условий и характеристик оптической системы. Оптимизация оптических характеристик и формы оправ позволяет влиять на обе величины, что ведёт к возможности создания системы, обладающей минимальным паразитным потоком в требуемых условиях эксплуатации. Рассмотрена минимизация дополнительной (паразитной) облученности на примере систем двух типов: предназначенных для наблюдения удалённых объектов на фоне неба и на поверхности Земли.
Предложен метод выравнивания интенсивностей четырехцветного лазерного излучения, составленного из трехцветного излучения одного лазера и монохроматического – другого лазера. В основе метода лежит использование ротатора поляризаций, изготовленного из гиротропного кристалла и обладающего оптической дисперсией. Метод продемонстрирован на примере выравнивания лучей трехцветного излучения Ar-лазера ( 1 = 0,488 мкм, 2 = 0,496 мкм, 3 = 0,514 мкм) и излучения полупроводникового лазера ( 4 = 0,65 мкм).
Рассмотрены основные принципы построения проекторов инфракрасных сцен (ИСП). Проводится анализ ИСП, построенных на основе матриц теплоизлучающих элементов, а также источников теплового излучения, которые могут быть использованы при создании проекторов инфракрасных сцен на основе матриц микрозеркал.
Выполнен теоретический анализ возможностей термокондуктометрического метода и рассчитаны коэффициенты теплопроводности газовых смесей с малой примесью водорода, используя разбиение газовой смеси на две компоненты, одна из которых состоит из смеси тяжелых молекул, а другая – легкий водород. Для уменьшения влияния неконтролируемого изменения концентрации газовой смеси было предложено проводить дополнительные измерения теплопроводности компоненты из смеси тяжелых газов, для чего водород удалялся путем каталитического сжигания.
Методом электронно-лучевого испарения получены пленки висмута толщиной от 6 до 200 нм на стекле и исследованы их морфология, структура, текстура, оптические и электрические свойства. Показано, что для всех образцов происходит самоорганизация нанокристаллического висмута в текстуру, в которой наиболее плотные атомные плоскости кристаллов ориентированы параллельно поверхности стекла.
Обсуждается вопрос о том, может ли диффузия фотогенерированных носителей заряда из «пиксельного» пятна засветки в прилежащие области фотоприемной матрицы в сочетании с погрешностями покрытия фотоэлемента матрицы пятном быть (при заданных параметрах задачи) причиной наблюдаемого различия значений пороговых характеристик матричных ФПУ, определенных в экспериментах с однородной модулированной засветкой матрицы и в экспериментах с малым пятном засветки. Предложена схема анализа результатов Монте-Карло-расчетов фотосигнала элемента матрицы, нормированного на мощность пучка и засветку фотоэлемента, как функции размера пятна засветки. Посредством такого анализа может быть оценено различие значений порогового (минимального детектируемого) потока излучения в двух указанных случаях и влияние на него погрешности покрытия фотоэлемента пятном. Сообщается, каким образом анализ может быть распространен на случай линейчатых ФПУ с режимом временной задержки и накопления.
Представлена методика определения локальных дефектов в фотоэлектрических преобразователях (ФЭП) солнечного излучения путем бесконтактного измерения распределения температуры по площади ФЭП при подаче на него прямого и обратного напряжения смещения. Неоднородность распределения температуры по поверхности ФЭП возникает вследствие неоднородности плотности тока из-за наличия локальных дефектов. Температура определяется по интенсивности теплового излучения в инфракрасном (ИК) диапазоне спектра посредством специальной тепловизионной системы. Для исключения влияния бликов, неоднородности коэффициента излучения поверхности ФЭП, неоднородности чувствительности фотоприемной матрицы определяется разность сигналов фотоприемного устройства при подаче (прямого или обратного) напряжения на ФЭП и в отсутствие приложенного к ФЭП напряжения. Приведена программно-аппаратная реализация методики с использованием матричного фотоприемного устройства инфракрасного диапазона спектра 3–5 мкм формата 320 на 256 элементов.
Проведены исследования адмиттанса МДП-структур на основе n(p)-Hg1–xCdxTe (x = 0,21–0,23), выращенного методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках Si и GaAs. Изучались возможности повышения значения произведения дифференциального сопротивления области пространственного заряда на площадь полевого электрода RОПЗA путем создания приповерхностных варизонных слоев с повышенным содержанием CdTe. Установлено, что создание варизонного слоя приводит к увеличению значения RопзA в 10–200 раз для МДП-структур на основе n-Hg0,78Cd0,22Te за счет подавления процессов туннельной генерации через глубокие уровни и уменьшение тока Шокли-Рида. МДП-структуры на основе n-Hg0,78Cd0,22Te без варизонного слоя, выращенные на GaAs-подложках, имеют значения RопзA, превышающие в 10 и более раз значения аналогичного параметра для структур, выращенных на Si-подложках.
Развита кинетическая теория высоковольтного тлеющего разряда (ВТР). Решено уравнение Пуассона в слое объёмного заряда с учётом потока ионов, поступающих из плазмы в слой, ионизации газа в слое электронами, ионами и быстрыми атомами. На катоде имеет место потенциальное и кинетическое вырывание электронов с поверхности. Для различных значений плотности газа и коэффициента вторичной эмиссии рассчитаны ВАХ, определены размеры слоя объемного заряда, получены распределения электрического поля в слое и другие характеристики ВТР. Предложенная математическая модель может быть использована для расчета характеристик ускорителей электронов на основе ВТР.
Изучался процесс коммутации короткого вакуумного промежутка с помощью вспомогательного разряда по поверхности диэлектрика путем высокоскоростной регистрации изображений излучающей в оптическом диапазоне спектра плазмы разряда. На основе анализа полученных экспериментальных данных высказано предположение о существенной роли излучения катодного пятна и катодного факела ультрафиолетового диапазона в процессе формирования токового канала в разряде.
Приведены результаты измерения поглощаемой плазмой мощности в стеллараторе Л-2М при электронном циклотронном резонансном (ЭЦР) нагреве плазмы на второй гармонике гирочастоты. Водородная плазма создавалась и нагревалась в вакуумной камере стелларатора при резонансном поглощении СВЧ-мощности в режиме импульсно периодической работы гиротронов. Полная энергия плазменного тороидального плазменного шнура и величина поглощенной мощности измерялись с помощью диамагнитной диагностики. Проведен учет экранирующего влияния металлической вакуумной камеры на измерение диамагнитных сигналов. Установлено, что при центральном ЭЦР-нагреве в плазме поглощается до 90 % мощности инжектированного гиротронного пучка, что согласуется с существующими теоретическими оценками.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400