Компактный импульсный источник протонов (2024)

Описана конструкция и принцип работы импульсного источника протонов на основе отражательного разряда типа Пеннинга с холодным полым катодом. Газоразрядные системы с полым катодом, имеющие малую входную апертуру, обеспечивают формирование неоднородной плазмы с повышенной плотностью на оси разрядной камеры и в области эмиссионного электрода и при этом отличаются относительно низким напряжением горения. Такая разрядная система в полной мере отвечает требованиям, предъявляемым к генераторам плазмы для источников пучков заряженных частиц с высокой плотностью тока. Приведены результаты исследований по влиянию ключевых параметров разрядной системы: давления рабочего газа, магнитной индукции, геометрии полого катода на разрядные и эмиссионные характеристики

Издание: Прикладная физика
Выпуск: №4 (2024)
Автор(ы): Гушенец Василий Иванович, Бугаев Алексей Сергеевич, Окс Ефим
Сохранить в закладках
Влияние температуры подложки на параметры пленок оксида алюминия при электронно-лучевом испарении алюминия в атмосфере кислорода (2024)

Приведены экспериментальные результаты измерения параметров пленок оксида алюминия, осажденных электронно-лучевым испарением алюминия в кислороде при разных температурах подложки. Показано, что характер влияния температуры определяется соотношением давления кислорода и скорости осаждения пленки.

Издание: Прикладная физика
Выпуск: № 1 (2024)
Автор(ы): Бурдовицин Виктор, Карпов Кирилл, Окс Ефим, Нгон А Кики Лионель Жоэль
Сохранить в закладках
Травление внутренней поверхности металлической трубки в разряде, поддерживаемым электронным пучком (2023)

Приведены экспериментальные результаты измерения скорости травления внутрен-ней стенки металлической трубки при наличии в трубке разряда, поддерживаемого инжектируемым электронным пучком. При токах разряда 50–200 мА скорость трав-ления повышается в интервале 10–30 нм/мин.

Издание: Прикладная физика
Выпуск: № 6 (2023)
Автор(ы): Бурдовицин Виктор, Карпов Кирилл, Окс Ефим, Нгон А Кики Лионель Жоэль
Сохранить в закладках