Статья: Электронно-лучевое испарение керамики в форвакуумном диапазоне давлений (2016)

Читать онлайн

С использованием форвакуумного плазменного источника электронов осуществлен процесс электронно-лучевого испарения алюмооксидной керамики в диапазоне давлений 5—15 Па. При плотности мощности электронного пучка 103 Вт/см2 скорость испарения керамики составляла 4 г/ч. Полученные результаты открывают возможность эффективного нанесения керамических покрытий на основе электронно-пучковых методов.

Using a plasma electron source, the process of beam evaporation of the aluminum oxide ceramic was achieved in the pressure range of 5—15 Pa. With the electron beam power density of 103 W/cm2, an evaporation rate for the ceramic was as high as 4 g/hr. The results open the possibility of making the effective ceramic coatings on the basis of electron-beam technologies.

Ключевые фразы: испарение керамики, ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК, плазменный источник электронов, форвакуумная область давлений
Автор (ы): Климов Александр Сергеевич, Зенин Алексей Александрович, Окс Ефим Михайлович, Шандриков Максим Валентинович, Юшков Юрий Георгиевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.533. Электронные (катодные) пучки и геометрическая оптика. Электронная оптика
621.384.5. Техническое применение тлеющего разряда
eLIBRARY ID
26248651
Для цитирования:
КЛИМОВ А. С., ЗЕНИН А. А., ОКС Е., ШАНДРИКОВ М. В., ЮШКОВ Ю. Г. ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЕ ИСПАРЕНИЕ КЕРАМИКИ В ФОРВАКУУМНОМ ДИАПАЗОНЕ ДАВЛЕНИЙ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №3
Текстовый фрагмент статьи