Статья: Образование кристаллических структур на поверхности «горячей» мишени ZnO при магнетронном распылении (2016)

Читать онлайн

В данной работе впервые представлены результаты магнетронного распыления неохлаждаемой керамической мишени ZnO в атмосфере кислорода. При высоких плотностях разрядного тока (j > 60 мА/см2) мишень разогревается до температуры более 1000 оС. Приведены характерные изображения рельефа поверхности мишени, полученные с помощью растровой электронной микроскопии. В зоне эрозии мишени формируется характерная морфология, а в областях, примыкающих к ней (край и центр мишени) наблюдается формирование рельефа в виде специфических кристаллических структур, форма и размеры которых зависят от давления рабочего газа в системе и температуры мишени. Предполагается, что к процессам каскадного распыления, характерным для распыления охлаждаемых мишеней, при распылении «горячих» мишеней добавляются радиационно-ускоренные процессы диффузии и испарения.

For the first time, results of magnetron sputtering an uncooled ceramic ZnO target in an oxygen atmosphere are presented in this paper. The target is heated up to a temperature of 1000 оC at high discharge current densities (j > 60 mA/cm2). Presented are typical target surface relief images obtained by scanning electron microscopy. A distinctive morphology is formed in the erosion area of a target. In the adjacent areas (the edge and the center of a target) there is observed the formation of a relief as a specific crystal structure, a shape and dimensions of which depend on the operating gas pressures in the system. It is assumed that to the processes of cascade spraying, typical for the spraying of cooled targets, for the spraying of “hot” targets there are added a radiation-accelerated diffusion and evaporation processes.

Ключевые фразы: магнетронное распыление, оксид цинка, неохлаждаемая («горячая») мишень, зона эрозии мишени, морфология поверхности, растровая электронная микроскопия
Автор (ы): Исмаилов Абубакр (Абакар) Магомедович, Гамматаев Саид Лиматуллаевич, Рабаданов Муртузали Рабаданович, Алиев Иса Шамсудинович, Эмирасланова Лейла Ливоуддиновна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
548.5. Зарождение, рост и растворение кристаллов
621.793.182. Катодное распыление
eLIBRARY ID
26248650
Для цитирования:
ИСМАИЛОВ А. (., ГАММАТАЕВ С. Л., РАБАДАНОВ М. Р., АЛИЕВ И. Ш., ЭМИРАСЛАНОВА Л. Л. ОБРАЗОВАНИЕ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ «ГОРЯЧЕЙ» МИШЕНИ ZNO ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №3
Текстовый фрагмент статьи