Статья: Разработка МДП-варикапа с переносом заряда в СВЧ-диапазоне (2016)

Читать онлайн

Выполнен расчет характеристик МДП-варикапа с переносом заряда в ВЧ- и СВЧ-диапазоне. Показано, что предельная частота прибора не менее чем в два раза выше предельной частоты обычного варикапа на основе системы МДП. Разработана конструкция МДП-варикапа с узлом стока неосновных носителей заряда для СВЧ-фазовращателей. Изготовлены экспериментальные образцы прибора на основе структур монокристаллического кремния толщиной 10 мкм с тонким эпитаксиальным слоем. Предложена методика измерения параметров эквивалентной схемы прибора в СВЧ-диапазоне. Экспериментальные характеристики прибора соответствуют результатам расчета. Проведенные расчеты и полученные характеристики образцов ВПЗ позволяют сделать вывод о перспективности использования прибора для реализации каскадной схемы плавных фазовращателей.

A calculation of characteristics of a MIS varicap with the charge transfer for HF and SHF range has been carried out. It has been shown that the limiting frequency of the device at least 2 times higher as compared to standard MIS varicap. A construction of the MIS varicap with a sink node of minority carriers for SHF range phase shifter has been designed. It has been produced experimental samples of the varicap based on ten-microns-thick monocrystalline silicon structures with a thin epitaxial layer. A measurement methodology of SHF range devices parameters has been developed. Experimentally measured characteristics of varicaps are consistent with the calculation results. From the calculations and obtained characteristics of the samples, it can be also concluded that this device is perspective for the implementation of the smooth shifters cascade scheme.

Ключевые фразы: мдп-варикап, варикап, разработка, экспериментальные характеристики
Автор (ы): Спиридонов Александр Борисович, Лицоев Сергей Владимирович, Петручук Иван Иванович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.3.049.774.2. Униполярные монолитные интегральные схемы (МОП)
eLIBRARY ID
26248657
Для цитирования:
СПИРИДОНОВ А. Б., ЛИЦОЕВ С. В., ПЕТРУЧУК И. И. РАЗРАБОТКА МДП-ВАРИКАПА С ПЕРЕНОСОМ ЗАРЯДА В СВЧ-ДИАПАЗОНЕ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №3
Текстовый фрагмент статьи