Научный архив: статьи

Исследована десорбция дихлорида палладия, стимулированная электронными возбуждениями в пучках электронов и ионов. В качестве прямых методов исследования использована вторично-ионная масс-спектрометрия и оже-спектроскопия. Выяснена природа сил, приводящая к десорбции хлора из дихлорида палладия. Показана возможность создания на поверхности кремниевых пластин узора из металлического палладия с субмикронными размерами путем облучения остросфокусированным электронным или ионным лучом пленки дихлорида палладия. Обоснована перспективность использования десорбции стимулированной электронными возбуждениями для субмикронной литографии, так как при этом используются низкие энергетические пороги пучков и, следовательно, радиационные дефекты не будут возникать. В процессе не используется резист, что существенно сокращает число операций литографии

Дана краткая информация об основных научных и производственных центрах России, ведущих исследования и разработки в области КМОП-технологии микроэлектроники, которая сейчас является наиболее распространенной технологией изготовления ИС. Представлены основные физико-технологические принципы разработки КМОП-приборов, современные направления фундаментальных и прикладных работ, в частности, в области сверхкомпактных быстродействующих СБИС субмикронного диапазона. Обсуждается проблема обеспечения материально-технологической базы микроэлектроники. Представлена справочная информация о номенклатуре выпускаемых промышленностью КМОП-СБИС и новых перспективных разработках

Разработана методика получения ориентирующих подложек в неравновесной плазме тлеющего разряда для выявления жидкокристаллических текстур плазмы крови с целью диагностики заболеваемости инфарктом миокарда. Установлено, что растворы целлюлозы позволяют получать упорядоченные структуры. Ориентирующее действие тонких плазмохимических покрытий обеспечивает быстрое (до 24 ч) время выявления текстур доноров в виде жидкокристаллических линий (маслянистых бороздок), В плазме крови больных инфарктом миокарда выявлены веерные текстуры, сферолиты, дендриты, игольчатые кристаллы; у больных, перенесших инфаркт миокарда, псевдоизотропные текстуры с маслянистыми бороздками, иногда правильной шестиугольной формы. Установлена перспективность исследований Фурье-спектроскопии и обычной ИК-спектроскопии

Обсуждаются возможности “безэталонных” методов измерений сверхмалых размеров в растровом электронном микроскопе (РЭМ). Показано, что при использовании теоретических моделей формирования видеосигнала, мер периода и природных констант удается снизить погрешности измерений до нескольких нанометров

Работа посвящена глобальной экологической проблеме — сохранению озонового слоя Земли. Проведен анализ различных пассивных и активных методов восстановления озонового слоя в верхних слоях атмосферы. На базе достижений лазерной и космической техники предлагается оригинальный метод восстановления, основанный на более эффективном использовании солнечной энергии для увеличения скорости образования озона в стратосфере

Исследованы причины уменьшения озонового слоя путем изменения формы профилей вертикального распределения озона (по данным девяти станций мировой озонометрической сети). Полученные результаты свидетельствуют, что динамический механизм уменьшения озонового слоя должен играть доминирующую роль по отношению к “фреоновому”. Этот вывод существенно расходится с устоявшимися воззрениями на озоновую проблему

Анализируются понятия твердости как свойства материалов и метода твердости как способа механических испытаний. Получены диаграммы вдавливания индентора в упругой и упругопластической областях деформирования материалов при ступенчатом и непрерывном нагружении индентора. Дано обоснование связи характеристик твердости при вдавливании индентора с напряжениями при растяжении образца. Предложены методы оперативной оценки механических свойств материалов по характеристикам твердости. Разработаны переносные приборы для испытаний материалов непосредственно в изделиях и оценке механических свойств без их разрушения

Из бесконечной системы, равномерно распределенных неподвижных одинаковых частиц, выделена подсистема частица-поле. Поле заряженных частиц определяется только электромагнитным взаимодействием зарядов. Движение частицы, обусловленное ее спином, происходит в шаровом слое, так что центр ее массы неподвижен. Внешняя поверхность слоя связана со сферическим потенциалом, складывающимся из дискретных излучений поля частицей и дискретных поглощений ею поля всех других зарядов. Излучение и поглощение происходят мгновенно и совпадают по времени в каждой точке поворота. Трехмерность задачи поворотом координат приводится к случаю одномерного движения частицы в потенциальном ящике. Для решения задачи уравнения для спина и дискретных уровней энергии дополнены уравнением, связывающим энергию, ширину потенциального ящика с квадратом заряда. В результате этого для основного состояния получены средние радиусы, значения потенциала на сферической поверхности и частоты электромагнитного поля электрического заряда для протона и электрона

Дан краткий обзор теоретических работ по линейной теории неустойчивости ленточного релятивистского электронного пучка в плоском резонаторе. Эта неустойчивость известна как вынужденное излучение монотронного типа и до последнего времени было хорошо исследовано для релятивистских пучков. Дается обобщение этой теории на случай релятивистских пучков, которое связано с учетом всех волн плазма-пучковой системы, как нарастающих, так и затухающих. В отличие от нерелятивистских пучков, для которых роль затухающих волн пренебрежимо мала, для релятивистских пучков их учет оказывается существенным и приводит к значительному увеличению эффективности вынужденного излучения. В результате релятивистский монотрон представляется как конкурентоспособный прибор релятивистской СВЧ-злектроники

Рассмотрено развитие запертой моды без каких-либо неустойчивостей в результате одновременного воздействия резонансных возмущений магнитного поля и неоднородного охлаждения. Такой механизм объясняет многие явления в разрядах на токамаке

Представлены аналитические выражения для вероятности отрыва (ионизации) и присоединения (прилипания, рекомбинации) электрона в переменном электрическом поле, создаваемом излучением. Показано, что механизм каждого из возможных переходов электрона между состояниями из дискретного и непрерывного спектров энергии по сути один и тот же, являясь многоквантовым туннельным переходом между состояниями электрона различной физической природы. В силу различия начальных и конечных состояний во взаимно противоположных процессах рассматриваемых переходов электрона их вероятность характеризуется матричными элементами разных частей гамильтониана. Это обстоятельство служит указанием на существование необратимости в явлениях, связанных с формированием ионизованной среды

Получены экспериментальные распределения эффективной концентрации заряженных центров вблизи металлургической границы гетероперерехода n-GaAIAs/p-GaAs после длительной наработки при пропускании прямого тока. Обнаружены существенные изменения в распределении концентрации и показана взаимосвязь с изменениями характеристик и параметров излучателей