Обсуждаются возможности “безэталонных” методов измерений сверхмалых размеров в растровом электронном микроскопе (РЭМ). Показано, что при использовании теоретических моделей формирования видеосигнала, мер периода и природных констант удается снизить погрешности измерений до нескольких нанометров
The possibilities of “standardless” method for measurements of ultra-small features in Scanning Electron Microscope (SEM) are discussed. It is shown that measurement errors may be decreased up to several nanometers by using of theoretical molel for videosignal simulation, pitch standards and natural constants
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика