1. Менделеев Д. И. Сочинения. Т. ХХІІ. Метрологические работы. АН СССР, 1950. - 866 с.
2. Петрушевский Ф. И. Метрология, или описание мер, весов, монет и времени счисле- ния. - С.-Петербург: Типография Департамента, народного просвещения, 1831. - 365 с.
3. Сретенский В. Н. Природные константы и их значение для развития техники высокоточных измерений//Электронная пром-сть, 1985. No 3. С. 9-12.
4. Larrabee R. D. Submicrometer optical linewidth metrology//Proc. of SPIE, 1987. V. 775, Р. 46-49.
5. Francon M. Holographie//Masson et Cie Editeurs. - Paris, 1969.
6. Козлитин А. И., Никитин А. В. Модель формирования ЭМ-изображения в отра- женных электронах//Измерительная техника, 1995. No 2, С. 21-24.
7. Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И. Дифракционная решетка как мера для калибровки. увеличения растрового электронного микроскопа//Там же, No 9. С. 33-35.
8. Новиков Ю. А., Раков А. В., Стеколин И. Ю. Оптическая дифракционная ре- шетка как эталонная мера для растрового электронного микроскопа//Известия АН. Сер. Физическая, 1993. T. 57. No 8. C. 79-83.
9. Новиков Ю. А., Раков А. В., Стеколин И. Ю. Калибровка РЭМ с помощью ша- говых структур//Измерительная техника, 1995. No 2. С. 64-66.
10. Вогт М., Wolf E.. Principles of Optics //Pergamon Press. - Oxford, London, Edinburgh, New York, Paris, Frankfurt, 1968. - 720 р.
11. Ландсберг Г. С. Оптика. - М.: Наука, 1976. - 928 с.
12. Волков В. В., Масалов В. В., Сретенский В. Н. Возможности самокалибровки измерительных устройств с использованием квантовых мер и микропроцессоров//Электронная техни- ка. Сер. 3. Микроэлектроника, 1992. Вып. 1. С. 52-55.
13. Амосов Р.М., Козлитин А. И., Никитин А. В. Метод прецизионных измерений субмикронных и нанометровых объектов в РЭМ// Электронная пром-сть, 1994. No 7-8. С. 163-168.