Статья: ОБЕСПЕЧЕНИЕ ТОЧНОСТИ ПРИ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ИЗМЕРЕНИЯХ СВЕРХМАЛЫХ РАЗМЕРОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЕОРЕТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ И МЕР С ПРИРОДНЫМИ КОНСТАНТАМИ (1996)

Читать онлайн

Обсуждаются возможности “безэталонных” методов измерений сверхмалых размеров в растровом электронном микроскопе (РЭМ). Показано, что при использовании теоретических моделей формирования видеосигнала, мер периода и природных констант удается снизить погрешности измерений до нескольких нанометров

The possibilities of “standardless” method for measurements of ultra-small features in Scanning Electron Microscope (SEM) are discussed. It is shown that measurement errors may be decreased up to several nanometers by using of theoretical molel for videosignal simulation, pitch standards and natural constants

Ключевые фразы: МЕРЫ, сверхмалые размеры, ПОГРЕШНОСТЬ ИЗМЕРЕНИЙ
Автор (ы): Козлитин А. И. (Kozlitin A. I.), Никитин А. В., Сретенский В. Н.
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.385.833. Электронные микроскопы и электронно-фотографирующие устройства
Для цитирования:
КОЗЛИТИН А. И., НИКИТИН А. В., СРЕТЕНСКИЙ В. Н. ОБЕСПЕЧЕНИЕ ТОЧНОСТИ ПРИ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ИЗМЕРЕНИЯХ СВЕРХМАЛЫХ РАЗМЕРОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЕОРЕТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ И МЕР С ПРИРОДНЫМИ КОНСТАНТАМИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 1996. №1
Текстовый фрагмент статьи