ОБЕСПЕЧЕНИЕ ТОЧНОСТИ ПРИ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ИЗМЕРЕНИЯХ СВЕРХМАЛЫХ РАЗМЕРОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЕОРЕТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ И МЕР С ПРИРОДНЫМИ КОНСТАНТАМИ (1996)
Выпуск:
№1 (1996)
Обсуждаются возможности “безэталонных” методов измерений сверхмалых размеров в растровом электронном микроскопе (РЭМ). Показано, что при использовании теоретических моделей формирования видеосигнала, мер периода и природных констант удается снизить погрешности измерений до нескольких нанометров