Матричное фотоприемное устройство формата 640512 элементов на основе HgCdTe для средневолнового ИК-диапазона (2019)

Разработана конструкция и изготовлены матричные ФЧЭ на основе полупроводникового твердого раствора HgCdTe на подложках из кремния форматом 640×512 элементов с шагом 25 мкм с длинноволновой границей чувствительности 5 мкм по уровню 0,5. Разработаны схема и топология, по которым изготовлены матричные мультиплексоры форматом 640512 элементов с шагом 25 мкм, обеспечивающие рабочие режимы на тактовой частоте до 10 МГц. Методом гибридной сборки на индиевых столбах изготовлено матричное ФПУ форматом 640512 элементов с шагом 25 мкм. Лучшие образцы ФПУ характеризуются следующими параметрами: средняя величина NETD < 13 мК, количество работоспособных элементов > 99,5 %.

Издание: Успехи прикладной физики
Выпуск: том 7 № 2 (2019)
Автор(ы): Марчишин Игорь Владимирович, Сидоров Георгий Юрьевич, Дворецкий Сергей, Сабинина Ирина Викторовна, Варавин Василий Семенович, Ремесник Владимир Григорьевич, Предеин Александр Владиленович, Васильев Владимир Васильевич, Сидоров Юрий Георгиевич, Марин Денис Викторович, Ковчавцев Анатолий Петрович, Латышев Александр Васильевич
Сохранить в закладках