ISSN 2307-4469 · EISSN 2949-5636
Языки: ru · en

Статья: Матричное фотоприемное устройство формата 640512 элементов на основе HgCdTe для средневолнового ИК-диапазона (2019)

Читать онлайн

Разработана конструкция и изготовлены матричные ФЧЭ на основе полупроводникового твердого раствора HgCdTe на подложках из кремния форматом 640×512 элементов с шагом 25 мкм с длинноволновой границей чувствительности 5 мкм по уровню 0,5. Разработаны схема и топология, по которым изготовлены матричные мультиплексоры форматом 640512 элементов с шагом 25 мкм, обеспечивающие рабочие режимы на тактовой частоте до 10 МГц. Методом гибридной сборки на индиевых столбах изготовлено матричное ФПУ форматом 640512 элементов с шагом 25 мкм. Лучшие образцы ФПУ характеризуются следующими параметрами: средняя величина NETD < 13 мК, количество работоспособных элементов > 99,5 %.

The 640512 FPAs with 25 μm pitch and 5 μm wavelength cut-off were designed and fabri-cated on the basis of HgCdTe/Si. The 640512 with 25 μm pitch ROIC was designed and fabricated, providing the operating mode on the clock frequency up to 10 MHz. The cooled IDDCA 640512 with 25 μm pitch was fabricated with the following parameters for best product: NETD mean value <13 mK, the operability >99.5 %.

Ключевые фразы: КРТ, молекулярно-лучевая эпитаксия, ФЧЭ, мультиплексор, FPA, ФПУ, NETD, SWaP, photodetectors, MCT, MBE
Автор (ы): Марчишин Игорь Владимирович
Соавтор (ы): Сидоров Георгий Юрьевич, Дворецкий Сергей, Сабинина Ирина Викторовна, Варавин Василий Семенович, Ремесник Владимир Григорьевич, Предеин Александр Владиленович, Васильев Владимир Васильевич, Сидоров Юрий Георгиевич, Марин Денис Викторович, Ковчавцев Анатолий Петрович, Латышев Александр Васильевич
Журнал: Успехи прикладной физики

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
eLIBRARY ID
37305300
Для цитирования:
МАРЧИШИН И. В., СИДОРОВ Г. Ю., ДВОРЕЦКИЙ С., САБИНИНА И. В., ВАРАВИН В. С., РЕМЕСНИК В. Г., ПРЕДЕИН А. В., ВАСИЛЬЕВ В. В., СИДОРОВ Ю. Г., МАРИН Д. В., КОВЧАВЦЕВ А. П., ЛАТЫШЕВ А. В. МАТРИЧНОЕ ФОТОПРИЕМНОЕ УСТРОЙСТВО ФОРМАТА 640512 ЭЛЕМЕНТОВ НА ОСНОВЕ HGCDTE ДЛЯ СРЕДНЕВОЛНОВОГО ИК-ДИАПАЗОНА // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2019. ТОМ 7 № 2
Текстовый фрагмент статьи