Обсуждаются новые естественные принципы деления высокочастотных (ВЧ) разрядов на емкостные и индуктивные, основанные на характере электромагнитного поля в плазме разряда. Если поле в плазме с высокой степенью точности является потенциальным и его вихревая часть мала, то разряд следует считать емкостным. Если же поле в плазме, напротив, почти чисто вихревое, то такой разряд является индуктивным. При этом следует различать разряды объемные и поверхностные, резонансные и нерезонансные, в зависимости от того, возбуждающие разряд ВЧ-поля совпадают с резонансными частотами объемных и поверхностных волн плазменных образований или далеки от них, проникают или не проникают в объем плазмы и каков характер сканирования таких полей
The physical principles of high frequence gas discharges as capasitive or inductive ones based on the character of electromagnetic fields in a plasma are discussed. If the field in a plasma is almost longitudinal (potential) and it’s transverse component is negJectable than the gaseous discharge can be considered as capasitive, whereas in the opposite limit when the transverse component of field dominates the gaseous discharge is inductive. Besides the high frequece discharges can be devided as resonance or nonresonance. surface or volumetric depending on the relation between the field frequence and own frequencies of sistem and the field penetration depth in a plasma
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
