Архив статей

ВТСП-ПЛЕНКИ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖКАХ И УСТРОЙСТВА НА ИХ ОСНОВЕ (1994)
Выпуск: №2 (1994)
Авторы: Байков И. С., Головашкин А. И.

Рассмотрены методы осаждения ВТСП-nпенок на полупроводниковых подложках, ус­ловия оптимизации параметров таких пленок и примеры устройств на их основе.

Сохранить в закладках