Условия применения стандартной методики для измерения величины эффективной фоточувствительной площади фотоприемных устройств второго поколения (2019)
Статья посвящена анализу возможности измерения величины эффективной фото-чувствительной площади фотоприемных устройств второго поколения с помощью стандартной методики, приведенной в ГОСТ 17772-88. Существенным достоинством стандартной методики измерения является полное соответствие современным требованиям метрологического обеспечения, а недостатком – направленность на контроль фотоприемных устройств первого поколения. На основании за-рубежных источников для фотоприемных устройств второго поколения определены характерные распределения чувствительности по поверхности фоточувствительного элемента и проведено моделирование процесса измерения величины эффективной фоточувствительной площади по стандартной методике, определена погрешность измерения. Результаты анализа показали возможность ограниченного использования стандартной методики для контроля фотоприемных устройств второго поколения.
The article is devoted to the analysis of the possibility of controlling an effective photosensitive area of the second-generation photodetectors using the standard method documented in GOST 17772-88. A significant advantage of the standard measurement method is full com-possibility with the modern requirements of metrological support, and the disadvantage is the focus on monitoring the first-generation photodetectors. Based on foreign sources for the second-generation photodetectors, characteristic sensitivity distributions over the surface of the photosensitive element are determined and the process of measuring the effective area of the responsive element is modeled according to the standard method, the measurement error is determined. The results of the analysis showed the possibility of limited use of the standard method to monitoring the second-generation photodetectors.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- УДК
- 535-15. Инфракрасные лучи
53.088.4. Границы применения измерительных приборов
681.2.083. Методы измерения - eLIBRARY ID
- 37305303
Стандартная методика измерения величины эффективной фоточувствительной площади применима для ФПУ первого поколения, а для контроля ФПУ второго поколения с малыми размерами ФЧЭ и её использование возможно при выполнении ряда условий.
Основным достоинством данной методики является возможность ее применения при отсутствии информации о распределении энергии в пятне рассеяния. Стандартная методика идеально работает в случае малой диффузионной длины, т. е. при равномерном распределении чувствительности по площадке, и применима в случае значительной диффузионной длины при выполнении ряда условий. При
использовании стандартной методики воз-можно проведение измерений ФПУ дальне-волнового ИК-диапазона с ФЧЭ с шагом не менее 28 мкм, средневолнового ИК-диапазона с ФЧЭ с шагом не менее 10 мкм, коротковолнового ИК-диапазона с ФЧЭ с шагом не менее 6 мкм с погрешностью, не превышающей 8 %.
Список литературы
- ГОСТ 17772-88. Приемники излучения и устройства приемные полупроводниковые фотоэлектрические. Методы измерения фотоэлектрических параметров и определения характеристик. – М.: Государственный комитет СССР по стандартам, 1988.
- Полесский А. В. // Успехи прикладной физики. 2017. Т. 5. № 4. С. 350.
- Андосов А. И., Батшева А. А., Полесский А. В., Тресак В. К., Хамидуллин К. А. // Успехи прикладной физики. 2018. Т. 6. № 2. С. 149.
- Sofradir Group [Электронный ресурс]. URL: http://www.sofradir.com/ (дата обращения: 11.02.2019).
- Leonardo DRS [Электронный ресурс]. URL: https://www.leonardocompany.com/ (дата обращения: 13.02.2019).
- Chorier P., Delannoy A. // Proceeding of SPIE. 2011. Vol. 8012. Р. 801202.
- Armstrong J. M., Skokan M. R., Kinch M. A., Luttmer J. D. // Proceeding of SPIE. 2014. Vol. 9070. Р. 907033.
- Teledyne [Электронный ресурс]. URL: http://www.teledyne.com/ (дата обращения: 18.02.2019).
- Semi Conductor Devices (SCD) [Электронный ресурс]. URL: http://www.scd.co.il (дата обращения: 18.02.2019).
- Shtrichman I., Fishman T., Mizrahi U., Nahum V., Calahorra Z., Aron Y. // Proceeding of SPIE – The Interna-tional Society for Optical Engineering. 2007. Vol. 6542.
P. 65423N. - Appleton B., Hubbard T., Glasmann A., Bellotti E. // OPTICS EXPRESS. 2018. Vol. 26. P. 5310.
- Rafol S. B., Gunapala S. D., Keo S. A., Ting D. Z., Soibel A., Khoshakhlagh A., Hill C. J., Luong E., Fisher A. M., Mumolo J. M., Liu J. K., Pepper B. // Infrared Physics and Technology. 2019. Vol. 96. P. 251.
- Gunapala S. D., Rafol S. B., Ting D. Z., Soibel A., Hill C. J., Khoshakhlagh A., Liu J. K., Mumolo J. M., Keo S. A., Höglund L., Luong E. M. / IEEE Photonics Con-ference. 2013.
- Ллойд Дж. Системы тепловидения. – М.: Мир, 1978.
- ГОСТ 21934-83. Приемники излучения полупроводниковые фотоэлектрические и фотоприемные устройства. Термины и определения. – М.: Государственный комитет СССР по стандартам, 1983.
- GOST 17772-88 (USSR State Committee of Stand-ards, Moscow, 1988) [in Russian].
- A. V. Polesskiy, Usp. Prikl. Fiz. 5 (4), 350 (2017).
- A. I. Andosov, A. A. Batsheva, A. V. Polesskiy, V. K. Tresak, and K. A. Khamidullin, Usp. Prikl. Fiz. 6 (2), 149 (2018).
- Sofradir Group. URL: http://www. sofradir.com/ (11.02.2019).
- Leonardo DRS. URL: https://www. leonardocompany. com/ (13.02.2019).
- P. Chorier and A. Delannoy, Proceeding of SPIE, 8012, 801202 (2011).
- J. M. Armstrong, M. R. Skokan, M. A. Kinch, and J. D. Luttmer, Proceeding of SPIE 9070, 907033 (2014).
- Teledyne. URL: http://www.teledyne.com/ (18.02.2019).
- Semi Conductor Devices (SCD). URL: http://www. scd.co.il (18.02.2019).
- I. Shtrichman, T. Fishman, U. Mizrahi, V. Nahum, Z. Calahorra, and Y. Aron, Proceeding of SPIE – The Inter-national Society for Optical Engineering 6542, 65423N (2007).
- B. Appleton, T. Hubbard, A. Glasmann, and E. Bellotti, OPTICS EXPRESS 26, 5310 (2018).
- S. B. Rafol, S. D. Gunapala, S. A. Keo, D. Z. Ting, A. Soibel, A. Khoshakhlagh, C. J. Hill, E. Luong, A. M. Fisher, J. M. Mumolo, J. K. Liu, and B. Pepper, Infrared Phys-ics and Technology 96, 251 (2019).
- S. D. Gunapala, S. B. Rafol, D. Z. Ting, A. Soibel, C. J. Hill, A. Khoshakhlagh, J. K. Liu, J. M. Mumolo, S. A. Keo, L. Höglund, and E. M. Luong, in Proc. IEEE Photonics Conference (2013).
- J. M. Lloyd, Thermal Imaging Systems (Plenum Press, New York and London, 1975; Mir, Moscow, 1978).
- GOST 21934-83 (USSR State Committee of Standards, Moscow, 1983) [in Russian].
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Шавелкина М. Б., Амиров Р. Х., Кавыршин Д. И., Юсупов Д. И.
Cинтез графена в плазменных струях электродугового плазмотрона 97
Григорьева И. Г., Костюшин В. А., Салахутдинов Г. Х.
Динамика импульсного рентгеновского излучения плазмы микропинчевого разряда 107
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Марчишин И. В., Сабинина И. В., Сидоров Г. Ю., Якушев М. В., Варавин В. С., Ремесник В. Г., Предеин А. В., Дворецкий С. А., Васильев В. В., Сидоров Ю. Г., Марин Д. В., Ковчавцев А. П., Латышев А. В.
Матричное фотоприемное устройство формата 640512 элементов на основе HgCdTe для средневолнового ИК-диапазона 114
Яковлева Н. И., Никонов А. В.
Исследование времени жизни неосновных носителей заряда в структурах на основе InGaAs 122
Астахов В. П., Гиндин П. Д., Чеканова Г. В.
Результаты зарядки поверхности планарных фотодиодов из антимонида индия при коротковолновом облучении и обратном смещении 131
Полесский А. В., Семенченко Н. А., Тресак В. К., Фирсенкова Ю. А.
Условия применения стандартной методики для измерения величины эффективной фоточувствительной площади фотоприемных устройств второго поколения 142
ФИЗИЧЕСКОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Носков А. И., Гильмутдинов А. Х., Асадуллина А. Р.
Особенности лазерной резки углеродных полимерных композиционных материалов (обзор) 155
Богомолов М. В., Брюков М. Г., Васильев А. И., Василяк Л. М., Касаткин Е. М.,
Костюченко С. В., Кудрявцев Н. Н., Левченко Д. А., Собур Д. А., Стрельцов С. А.
Фотоокисление примесей сероводорода и формальдегида во влажном воздухе ультрафиолетовым излучением 165
Соловьева А. Е.
Изменения кристаллической структуры и электрофизических свойств поликристаллического оксида иттрия при нагреве в вакууме 177
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ
Гибин И. С., Котляр П. Е.
Модели абсолютно черного тела (обзор) 188
Янин Д. В., Галка А. Г., Костров А. В.
Резонансные измерительные системы для ближнепольной СВЧ-томографии биологических тканей 201
C O N T E N T S
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
M. B. Shavelkina, R. Kh. Amirov, D. I. Kavyrshin, and D. I. Yusupov
Graphene synthesis in plasma jets of the DC plasma torch 97
I. G. Grigoryeva, V. A. Kostyushin, and G. Kh. Salakhutdinov
Dynamics of pulsed X-ray radiation of the micropinch discharge plasma 107
PHOTOELECTRONICS
I. V. Marchishin, I. V. Sabinina, G. Yu. Sidorov, М. V. Yakushev, V. S. Varavin, V. G. Re-mesnik, А. V. Predein, S. А. Dvoretsky, V. V. Vasil’ev, Yu. G. Sidorov, D. V. Marin,
A. P. Kovchavtsev, and А. V. Latyshev
Matrix photodetector device format 640512 elements on the basis of HgCdTe for the medium wave IR range 114
N. I. Iakovleva and А. V. Nikonov
Investigation of the lifetime of minority charge carriers in structures based on InGaAs 122
V. P. Astakhov, P. D. Gindin, and G. V. Chekanova
Results of antimony indium planar photodiodes surface charging at shortwave irradiation and reverse voltage displacement 131
A. V. Polesskiy, N. A. Semenchenko, V. K. Tresak, and Yu. A. Firsenkova
Satisfiability of the standard method for measuring an effective photosensitive area of the second-generation photodetectors 142
PHYSICAL SCIENCE OF MATERIALS
A. I. Noskov, A. Kh. Gilmutdinov, and A. R. Asadullina
Features of laser cutting of carbon polymer composite of materials (a review) 155
M. V. Bogomolov, M. G. Bryukov, A. I. Vasiliev, L. M. Vasilyak, E. M. Kasatkin, S. V. Kostyuchenko, N. N. Kudryavtsev, D. A. Levchenko, D. A. Sobur, and S. A. Streltsov
Photo-oxidation of hydrogen sulfide and formaldehyde impurities in humid air by ultra-violet radiation 165
A. E. Solovyeva
Changes in the crystal structure and electrophysical properties of polycrystalline yttrium oxide upon heating in vacuum 177
PHYSICAL EQUIPMENT AND ITS ELEMENTS
I. S. Gibin and P. E. Kotlyar
Absolutely black body models (a review) 188
D. V. Yanin, A. G. Galka, and A. V. Kostrov
Resonance measuring systems for near-field microwave tomography of biological tissues 201
Другие статьи выпуска
В работе представлены резонансные измерительные системы для ближнепольной СВЧ-томографии биологических тканей. Рассмотрены особенности их конструкции и описана методика глубинного подповерхностного зондирования. Изучен эффект «прижима», характеризующийся зависимостью показаний ближнепольного измерительного датчика от силы его давления на поверхность биообъекта. Найдены конструктивные решения, позволяющие свести к минимуму негативное влияние «прижима» путем использования зондирующего элемента в виде краевой емкости цилиндрического конденсатора, внешняя обкладка которого оканчивается металлическим фланцем. Представлена электродинамическая модель измерительной системы. Изучены импедансные свойства зондирующего элемента в виде краевой емкости цилиндрического конденсатора с металлическим фланцем, контактирующей с поверхностью однородного и неоднородного по глубине полупространства. Разработана схема решения обратной задачи для системы датчиков с разными глубинами зондирования применительно к модели плоскослоистой среды. Проведена экспериментальная апробация резонансных измерительных систем и развитого математического аппарата на примере задачи по обнаружению контрастных локализованных образований (неоднородностей) в однородной проводящей среде.
Представлен обзорно-аналитический материал по инфракрасным источникам излучения на примерах моделей абсолютно черного тела (АЧТ). Рассмотрены вопросы появления понятия абсолютно черного тела с первых работ Кирхгофа. Отмечены уникальные свойства моделей АЧТ, связанные с тем, что все спектральные радиационные характеристики определяются только температурой и не зависят от других параметров системы, а также то, что все спектральные распределения для АЧТ соответствуют максимально возможному тепловому излучению при заданной температуре. Рассмотрены полостные модели излучающей поверхности, особенности нагрева излучателей, модели АЧТ на температурах фазовых переходов, модели АЧТ с жидкометаллической тепловой трубой, протяженные модели АЧТ. Представлены требования к параметрам излучения АЧТ для аппаратуры космических систем, метрологической аппаратуры, имитационно-моделирующих инфракрасных стендов.
В процессе изучения механизмов влияния структурных дефектов на свойства оксида иттрия (в условиях термического и электрического воздействия в интервале температур 25–1800 оС в вакууме) в структуре при 500 оС обнаружен фазовый переход первого рода, при котором происходит смещение структурных анионных вакансий в междоузлия решетки и появление неупорядоченной фазы типа С1. Энергия этого перехода равна 0,89 эВ. В интервале температур 500–1100 оС в оксиде иттрия происходит постепенный фазовый переход второго рода упорядоченной кубической типа С в неупорядоченную типа С1. Обнаруженные фазовые превращения сопровождаются различием типа проводимости носителей заряда. Ионная проводимость зарядов в структуре оксида иттрия существует до 500 оС, причём с энергией проводимости зарядов 2,853 эВ. В оксиде иттрия в интервале температур 500–1100 оС существует смесь двух типов проводимости – ионная и электронная. Электронная проводимость сохраняется в интервале температур 1100–1500 оС. Энергия электронной проводимости 1,646 эВ.
В интервале температур 1500–1800 оС происходит изменение химического состава оксида по содержанию кислорода, которое приводит к появлению новых структурных анионных вакансий. Эти вакансии приводят к появлению моноклинной фазы типа В1, увеличению электрического сопротивления оксида и повышению энергия проводимости зарядов до 1,821 эВ. Аналитическим и графическим методами определены размеры радиусов катиона иттрия, кислорода и анионной вакансии. Моделирование структуры атомов в оксиде иттрия при нагреве и наложение электрического поля в вакууме для каждого типа проводимости позволило рассчитать вероятности перехода проводимости, определить концентрацию и подвижность носителей заряда и наблюдать их изменения, которые связаны с влиянием дефектов. Математическая модель восстановления оксида иттрия позволяет объяснить устойчивость неупорядоченной структуры типа С1 в смеси с моноклинной фазой после охлаждения образцов до 25 оС.
Представлены результаты экспериментального исследования фотоокисления примесей сероводорода (8–20 мг/м3) и формальдегида (3–7 мг/м3) в воздухе ультрафиолетовым излучением с длинами волн 184,95 и 253,65 нм при давлении 1 атм, начальной температуре 20 оС и относительной влажности воздуха 90 %. Создана модель для численного моделирования фотоокисления сероводорода и формальдегида в смеси с влажным воздухом. Кинетическая схема состоит из 7 и 4 фотохимических ре-акций, инициируемых квантами излучения на длинах волн 184,95 и 253,65 нм соответственно, и 43 индивидуальных обратимых химических реакций с участием 29 химических частиц (атомов, радикалов и молекул). Результаты численного моделирования хорошо согласуются с экспериментальными данными.
Использование технологических лазеров имеет значительное преимущество при обработке композиционных материалов (КМ) по сравнению с традиционными механическими видами обработки. Тем не менее, некоторые проблемы возникают из-за разницы в тепловых свойствах различных компонентов композита. В случае углеродных КМ волокна и матрица имеют очень разные времена испарения, поэтому, когда матрица достигает своей точки кипения (~773 К), волокна по-прежнему не подвержены воздействию ( 3573 К), что приводит к возникновению зоны термического воздействия (ЗТВ). В этой статье рассматривается влияние основных пара-метров лазерной резки КМ, таких как время взаимодействия, мощность и длина волны лазера. Показано, что эффективность и качество лазерной обработки существенным образом зависит от способности материала поглощать энергию лазерного излучения.
Представлены результаты по воздействию коротковолнового излучения и обратного смещения с широким диапазоном величин воздействующих факторов (энергии квантов и плотности потока фотонов, тока и напряжения обратного смещения) на вольтамперные характеристики, токи шума и сигнала, а также равномерности тока сигнала в многоплощадочных планарных фотодиодах р+–n-типа из антимонида индия. Исследования проводили непосредственно на кристаллах, а также макетах фотодиодов с этими кристаллами. Для обоих случаев воздействия все полученные результаты по деградации и восстановлению изучаемых параметров объясняются единой моделью на основе зарядки определённых участков поверхности кристалла «горячими» электронами, «разогретыми» до необходимых энергий либо поглощёнными квантами, либо электрическим полем области пространственного заряда р+–n-перехода, а также зависимости степени закрепления электронов на поверхности от величин воздействующих факторов. Делается вывод о том, что при проектировании и производстве следует учитывать возможности отказов ФД за счёт зарядки поверхности планарной структуры при сохранении бездефектной металлургической и планарной границ р+–n-перехода. Определены меры по устранению таких отказов.
Тройные и четверные растворы материалов группы А3В5 арсенидов InGaAs и фосфидов InGaAsР используются в современных приборах коротковолнового ИК-диапазона спектра различного назначения. Проведены оценки и моделирование времени жизни в структурах А3В5 в соответствии с тремя основополагающими механизмами генерации-рекомбинации: излучательным, Оже и Шокли-Рида-Холла. По про-веденным оценкам время жизни в материале In0,53Ga0,47As n-типа проводимости в диапазоне концентраций 1013–1017 см-3 составляет от 10-5 до 4,510-4 с, что позволяет достигать высоких фотоэлектрических параметров.
Разработана конструкция и изготовлены матричные ФЧЭ на основе полупроводникового твердого раствора HgCdTe на подложках из кремния форматом 640×512 элементов с шагом 25 мкм с длинноволновой границей чувствительности 5 мкм по уровню 0,5. Разработаны схема и топология, по которым изготовлены матричные мультиплексоры форматом 640512 элементов с шагом 25 мкм, обеспечивающие рабочие режимы на тактовой частоте до 10 МГц. Методом гибридной сборки на индиевых столбах изготовлено матричное ФПУ форматом 640512 элементов с шагом 25 мкм. Лучшие образцы ФПУ характеризуются следующими параметрами: средняя величина NETD < 13 мК, количество работоспособных элементов > 99,5 %.
Создан комплекс диагностической аппаратуры с многоканальным сцинтилляционным спектрометром рентгеновского излучения в энергетическом диапазоне 270 кэВ с наносекундным временным разрешением и разработана методика измерений. Исследована динамика спектрального состава импульсного рентгеновского излучения плазмы микропинчевого разряда на установке типа «низкоиндуктивная вакуумная искра». Проведенные исследования позволили получить экспериментальные результаты динамики электронной температуры Te плазмы в процессе микропинчевого разряда и определить последовательность образования жесткого рентгеновского излучения.
Представлены результаты исследования условий синтеза графена и систем на его основе без использования подложек при конверсии жидких и газообразных углерод-содержащих материалов в гелиевой, азотной или аргоновой плазме, генерируемой электродуговым плазмотроном, при пониженном давлении. С помощью комплекса физико-химических методов установлено, что при синтезе в объеме морфология графена имеет вид смятой бумаги. При изменении геометрии проточной части реактора без использования подложек формируется структура гидрированного графена. Использование азотной плазмы позволяет получить графен, допированный атомами азота или меди. При добавлении спиртов в плазму аргона или гелия происходит синтез термически стабильного окисленного графена. Сделан вывод о возможности применения плазменных условий для одноступенчатого синтеза графеновых материалов.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400