Лазерная резка кремниевых подложек изготовленных методом Taiko (2020)
Описан результат успешного применения метода лазерного управляемого термораскалывания при резке кремниевых подложек Тайко (Taiko) толщиной 50–250 мкм по замкнутому круговому контуру.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№ 1 (2020)