НЕРАВНОВЕСНАЯ ПЛАЗМА ХЛОРА - ХИМИЯ И ПРИМЕНЕНИЕ (1995)
Приведены экспериментальные и расчетные данные по параметрам и количественному составу нейтральной и заряженной компонент хлорной плазмы, а также по скоростям термического и плазмохимического травления металлов и полупроводников. Рассмотрены механизмы влияния добавок аргона на скорость травления и возможности эмиссионной спектроскопии для контроля процесса травления. Предложены пути обезвреживания хлора в отходящих газах плазмохимических установок
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№3-4 (1995)