Частотная зависимость энергии ионов на выходе из емкостного ВЧ-разряда, помещенного во внешнее магнитное поле с преимущественной радиальной составляющей (2024)
Исследована частотная зависимость энергии и тока ионов на выходе из ВЧ источника плазмы, имеющего геометрию СПД. Показано, что энергия ионов максимальна при работе на частоте 6,8 МГц. Увеличение рабочей частоты сопровождается падением энергии ионов. Ток ионов немонотонно зависит от частоты. При частотах менее 27,12 МГц рост энергии ионов сопровождается падением тока, а падение энергии ростом тока. Увеличение частоты до 27,12 МГц не приводит к росту ионного тока
Издание:
Прикладная физика
Выпуск:
№ 4 (2024)