Влияние внешней электрической цепи на параметры плазмы в канале высокочастотного ускорителя с замкнутым дрейфом электронов (2021)

Экспериментально исследовано аксиальное распределение потенциала плазмы, концентрации и температуры электронов в ВЧ емкостном источнике плазмы, имеющем геометрию ускорителя с замкнутым дрейфом электронов. Рассмотрены два случая организации внешней электрической цепи разряда. В первом случае электроды замыкались по постоянному току, во втором – размыкались. Показано, что замыкание электродов по постоянному току приводит к существенному росту потенциала плазмы и концентрации электронов. Вблизи электродов в ряде случаев наблюдаются локальные максимумы температуры и плотности плазмы, которые могут быть связаны с возникновением азимутального дрейфа электронов в скрещенных электрическом и магнитном полях.

The axial distribution of the plasma potential, concentration and temperature of electrons in an RF capacitive plasma source with the geometry of an accelerator with a closed electron drift is experimentally investigated in this work. Two cases of the external electrical discharge circuit are considered. In the first case, the electrodes were closed by direct current, in the second, they were opened. It is shown that direct current closure of the electrodes leads to a significant increase in the plasma potential and electron concentration. In a number of cases, local max-ima of temperature and plasma density are observed near the electrodes, which can be associated with the occurrence of azimuthal electron drift in crossed electric and magnetic fields.

Тип: Статья
Автор (ы): Швыдкий Георгий Вячеславович
Соавтор (ы): Задириев Илья Игоревич, Кралькина Елена Александровна, Вавилин Константин Викторович

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525. Электрические разряды в газах при пониженном давлении. Тлеющие разряды
eLIBRARY ID
44833478
Текстовый фрагмент статьи