Статья: Нелинейно-оптическая диагностика кристаллической структуры полупроводниковых пленок при молекулярно-лучевой эпитаксии (2021)

Читать онлайн

Представлен конструктивно простой и достаточно универсальный метод диагностики структурного совершенства полупроводниковых пленок в процессе их синтеза в установке МЛЭ по генерации второй гармоники (ВГ) с использованием импульсно-периодического YAG:Nd лазера.

The main advantage of molecular beam epitaxy (MBE) is the control and management of the parameters of atomic and molecular fluxes, as well as the characteristics of growing layers during growth. A constructively simple and fairly universal method for diagnosing the structural perfection of semiconductor films during their synthesis in an MBE device for second harmonic generation (SH) using a repetitively pulsed YAG: Nd laser is presented.

Ключевые фразы: молекулярно-лучевая эпитаксия, диагностика, нелинейно-оптическая диагностика, вторая гармоника, molecular beam epitaxy, nonlinear optical diagnostic, second harmonic generation
Автор (ы): Кульчицкий Николай Александрович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.38. Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы, трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц
eLIBRARY ID
44833481
Для цитирования:
КУЛЬЧИЦКИЙ Н. А. НЕЛИНЕЙНО-ОПТИЧЕСКАЯ ДИАГНОСТИКА КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНОК ПРИ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2021. № 1
Текстовый фрагмент статьи