Исследование магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы (2022)
Приведены результаты компьютерного и лабораторного моделирования магнитной распылительной системы (МРС), используемой для физического осаждения пленок в вакууме. Приведены рекомендации по выбору геометрических параметров МРС и значениям магнитного поля.
Издание:
Успехи прикладной физики
Выпуск:
том 10 № 3 (2022)