Автоматизированная диагностика плазмы магнетронного разряда по эмиссионным атомно-молекулярным спектрам (2012)
Представлен аппаратно-программный комплекс для исследования пространственных распределений излучательной способности плазмы, позволяющий проводить регистрацию и автоматизированное распознавание линий и систем молекулярных полос, а также компьютерную обработку спектров. Проведена идентификация молекулярных полос дейтерия для различных электронно-колебательно-вращательных переходов. Для разряда в планарном магнетроне оценены температуры возбуждения атомных уровней, поступательная, а также парциальные вращательные и колебательные температуры.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№3 (2012)