Влияние температуры расплава металлургического кремния на процесс его плазмохимической очистки (2024)

Исследовано влияние температуры расплава металлургического кремния на эффективность плазмохимической очистки с использованием электронного пучка.

При плазмохимическом рафинировании протекают следующие процессы: испарение легколетучих примесей за счет быстрого разогрева металлургического кремния с помощью электронного пучка; перевод трудно испаряемых в вакууме примесей в их легколетучие соединения в химически активной окислительной электронно-пучковой плазме.

Установлено, что удаление разных групп примесей необходимо проводить при разных температурах в диапазоне 1300–1900 °С.

Издание: Прикладная физика
Выпуск: №6 (2024)
Автор(ы): Щукин Виктор Геннадьевич, Константинов Виктор Олегович
Сохранить в закладках