Влияние условий напыления на микроструктуру пленок индия (2012)
Представлены результаты исследования влияния чистоты исходной поверхности, давления остаточных газов в вакуумной камере, скорости напыления и других факторов на микрокристаллическую структуру слоев индия.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№3 (2012)