Генерация плазменного потока на основе ЭЦР-разряда в узком коаксиальном резонаторе (2019)
Установлена возможность одновременной экстракции ионной и электронной компонент плазмы и формирование скомпенсированного по току потока плазмы, создаваемой в узком коаксиальном резонаторе на ЭЦР. Представлены характерные зависимости ионного тока от массового расхода газа (аргон) и вводимой в резонатор СВЧ-мощности.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№3 (2019)