Статья: Вакуумная установка плазмохимического травления
Аннотация
Формат документа:
pdf
Кол-во страниц:
1 страница
Владелец:
Неизвестно
Доступ:
Всем
Статья: УСТАНОВКА ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ «КРАУДИОН-ИПО-11/2
Установка «КРАУДИОН-ИПО-11/2» предназначена для ионно-
плазменной обработки наружных поверхностей и внутренних ка-
налов корпусов из ситалла, применяемых в производстве ЭВП.
Установка «КРАУДИОН-ИПО-11/2» обеспечивает проведение
следующих технологических операций:
- загрузка изделия в камеру ионно-плазменной обработки;
- безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологиче-
ской камеры; - напуск технологического газа/смеси газов;
- инициирование плазменного разряда и проведение техноло-
гического процесса ионно-плазменной обработки наружных по-
верхностей/внутренних каналов изделия в инертных газах и их
смесях с кислородом; - разгерметизация камеры с напуском инертного газа и выгрузка
изделия
Формат документа:
pdf
Кол-во страниц:
2 страницы
Владелец:
Неизвестно
Доступ:
Всем
Патент: Very small pixel pitch focal plane
Вид патента:
Изобретение
Год публикации:
2016
Владелец:
Неизвестно
Доступ:
Всем