В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технология, n-МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС.
Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.
Фундаментальный труд американского физикохимика, крупного специалиста в области коллоидной химии кремнезема и силикатов, охватывает обширный круг вопросов, связанных с изучением и применением чистого кремнезема, особенно его коллоидных форм, использование которых в народном хозяйстве непрерывно расширяется. В русском переводе выходит в 2-х частях.
В ч. 1 рассматриваются система кремнезем-вода, растворение и осаждение кремнезема. Дается описание методов получения и анализа растворимых силикатов, а также органических производных кремнезема. Приводится обзор по различным аспектам полимеризации мономера Si (ОН) 4 и получению стабильных золей.
Предназначена для научных и инженерно-технических работников в области химии, биологии, медицины, почвоведения, металлургии, горнорудной и строительной промышленности.
В книге изложены теоретические основы аналитической химии кремния, отражено ее современное состояние. Обобщены исследования последних лет, направленные на разработку новых химических, физико-химических и физических методов определения, отмечены преимущества и недостатки отдельных методов. Критически рассмотрен большой литературный материал по вопросу аналитической химии кремния.