Книга: Технология СБИС. В двух книгах. Книга 2.
В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технология, n-МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС.
Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.
Информация о документе
- Формат документа
- PDF, DJVU
- Кол-во страниц
- 453 страницы
- Загрузил(а)
- Лицензия
- —
- Доступ
- Ограничен
Информация о книге
- Издательство
- Мир
- Год публикации
- 1986
- Библиографическая запись
-
Технология СБИС. В 2-х книгах. Книга 2. / Под. ред. С. Зи; М.: Мир, 1986. - 453 с. ил.
- Каталог SCI
- Электроника
- УДК
- 546.28. Кремний