Книга: Технология СБИС. В двух книгах. Книга 2.

В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технология, n-МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС.
Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.

Информация о документе

Формат документа
PDF, DJVU
Кол-во страниц
453 страницы
Загрузил(а)
Лицензия
Доступ
Ограничен

Информация о книге

Издательство
Мир
Год публикации
1986
Автор(ы)
Зи С. (редактор)
Библиографическая запись

Технология СБИС. В 2-х книгах. Книга 2. / Под. ред. С. Зи; М.: Мир, 1986. - 453 с. ил.

Каталог SCI
Электроника