SCI Библиотека

Учебное пособие «Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем» охватывает разделы: рост кристаллов и подготовка подложек, окисление, диффузия, эпитаксия, литография, рост тонких пленок, общие закономерности технологии интегральных микросхем, сборка и контроль качества полупроводниковых

приборов и интегральных микросхем. Пособие разработано на основе курса лекций, читаемых в течение ряда лет на инженерно-физическом факультете высоких технологий.

Рекомендуется для студентов и инженерно-технических работников, специализирующихся в области микроэлектроники и физики полупроводников.

Рассматриваются основы метода Монте-Карло в применении к задачам электронного транспорта в двумерных наноструктурах в квазиклассическом режиме. Приводится подробное описание процедур генерации случайных чисел с заданным законом распределения, описаны основы моделирования среднего времени свободного пробега, подробно рассматривается вычисление полной вероятности рассеяния носителей тока на длинноволновых колебаниях кристаллической решетки. Предназначено для изучения в рамках дисциплины «Физика конденсированного состояния» для студентов, обучающихся по программе бакалавриата 03.03.02 «Физика».