Найти:

SCI Библиотека

SciNetwork библиотека — это централизованное хранилище... ещё…
Загрузить
ВсеКнигиСтатьиПрепринтыДиссертацииПатентыЗаметкиПрезентацииДоклады
Фильтры 1  
Результаты поиска: 12 док. (сбросить фильтры)
Влияние температуры подложки на параметры пленок оксида алюминия при электронно-лучевом испарении алюминия в атмосфере кислорода

Приведены экспериментальные результаты измерения параметров пленок оксида алюминия, осажденных электронно-лучевым испарением алюминия в кислороде при разных температурах подложки. Показано, что характер влияния температуры определяется соотношением давления кислорода и скорости осаждения пленки.

Формат документа: pdf
Год публикации: 2024
Кол-во страниц: 1
Загрузил(а): Бурдовицин Виктор
Язык(и): Русский, Английский
Травление внутренней поверхности металлической трубки в разряде, поддерживаемым электронным пучком
форвакуумный электронный источник, узкая металлическая трубка, инжекция электронного пучка, газовый разряд, ионное травление

Приведены экспериментальные результаты измерения скорости травления внутрен-ней стенки металлической трубки при наличии в трубке разряда, поддерживаемого инжектируемым электронным пучком. При токах разряда 50–200 мА скорость трав-ления повышается в интервале 10–30 нм/мин.

Формат документа: pdf
Год публикации: 2023
Кол-во страниц: 1
Загрузил(а): Бурдовицин Виктор
Язык(и): Русский, Английский