Вход

Статья: Травление внутренней поверхности металлической трубки в разряде, поддерживаемым электронным пучком

Скачать

Приведены экспериментальные результаты измерения скорости травления внутрен-ней стенки металлической трубки при наличии в трубке разряда, поддерживаемого инжектируемым электронным пучком. При токах разряда 50–200 мА скорость трав-ления повышается в интервале 10–30 нм/мин.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Бурдовицин Виктор
Лицензия: —
Доступ: Всем
Просмотров: 3

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2023-6-23-27
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2023
Автор(ы): Бурдовицин В., Карпов К., Окс Е., Нгон А. К.
Ключевые фразы: форвакуумный электронный источник, узкая металлическая трубка, инжекция электронного пучка, газовый разряд, ионное травление
Каталог SCI: Физика
УДК: 537.563. Способы ионизации газов

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: КОНТЕНТ ТЕЛЕВИЗИОННЫХ РАЗВЛЕКАТЕЛЬНЫХ КАНАЛОВ В СОЦИАЛЬНЫХ СЕТЯХ (НА ПРИМЕРЕ VK И TELEGRAM)

02. Статья: ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ ПРЕДПРИЯТИЙ МАКАРОННОЙ ОТРАСЛИ В СОСТАВЕ АГРОПРОМЫШЛЕННОГО КЛАСТЕРА РЕСПУБЛИКИ КРЫМ

03. Статья: БЕРЕЖЛИВОЕ ПРОИЗВОДСТВО В СТРАНАХ АФРИКИ

04. Статья: ОСОБЕННОСТИ КОНЦЕПТУАЛЬНОГО МЕХАНИЗМА ФОРМИРОВАНИЯ КОМПЕТЕНТНОСТНОЙ МОДЕЛИ ВЫПУСКНИКА ВУЗА

05. Статья: ПЕРЕПУТЫВАНИЕ СВЕРХПРОВОДЯЩИХ ЗАРЯДОВЫХ КУБИТОВ ПРИ НАЛИЧИИ СРЕДЫ КЕРРА

06. Статья: ПРИМЕНЕНИЕ ЭМПАТИИ В ПРОЦЕССЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ДИЗАЙН-МЫШЛЕНИЯ И АРХИТЕКТУРНОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ

07. Статья: ДИФФЕРЕНЦИАЦИЯ ПОНЯТИЙ “ТРЕЗВЫЙ ОБРАЗ ЖИЗНИ” И “ЗДОРОВЫЙ ОБРАЗ ЖИЗНИ” В СОЦИАЛЬНЫХ НАУКАХ

08. Статья: НЕЭКОНОМИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ПОТРЕБИТЕЛЬСКИХ НАСТРОЕНИЙ: РОЛЬ СОЦИАЛЬНОЙ УКОРЕНЁННОСТИ В АНАЛИЗЕ ИЗМЕНЧИВОСТИ ОЖИДАНИЙ

09. Статья: ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ГИБРИДИЗАЦИИ ДЛЯ СОЗДАНИЯ НОВЫХ СОРТОВ И ГИБРИДОВ СОРГО

10. Статья: КОЛЛЕКЦИЯ ДРЕВНЕРУССКИХ РУКОПИСЕЙ БИБЛИОТЕКИ И МУЗЕЯ ЧЕСТЕРА БИТТИ