Найти:

SCI Библиотека

SciNetwork библиотека — это централизованное хранилище... ещё…
Загрузить
ВсеКнигиСтатьиПрепринтыДиссертацииПатентыЗаметкиПрезентацииДоклады
Фильтры 1  
Результаты поиска: 1 док. (сбросить фильтры)
ОБЕСПЕЧЕНИЕ ТОЧНОСТИ ПРИ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ИЗМЕРЕНИЯХ СВЕРХМАЛЫХ РАЗМЕРОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЕОРЕТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ И МЕР С ПРИРОДНЫМИ КОНСТАНТАМИ
МЕРЫ, сверхмалые размеры, ПОГРЕШНОСТЬ ИЗМЕРЕНИЙ

Обсуждаются возможности “безэталонных” методов измерений сверхмалых размеров в растровом электронном микроскопе (РЭМ). Показано, что при использовании теоретических моделей формирования видеосигнала, мер периода и природных констант удается снизить погрешности измерений до нескольких нанометров

Формат документа: pdf
Год публикации: 1996
Кол-во страниц: 1
Загрузил(а): Козлитин А.
Язык(и): Русский, Английский