Исследована десорбция дихлорида палладия, стимулированная электронными возбуждениями в пучках электронов и ионов. В качестве прямых методов исследования использована вторично-ионная масс-спектрометрия и оже-спектроскопия. Выяснена природа сил, приводящая к десорбции хлора из дихлорида палладия. Показана возможность создания на поверхности кремниевых пластин узора из металлического палладия с субмикронными размерами путем облучения остросфокусированным электронным или ионным лучом пленки дихлорида палладия. Обоснована перспективность использования десорбции стимулированной электронными возбуждениями для субмикронной литографии, так как при этом используются низкие энергетические пороги пучков и, следовательно, радиационные дефекты не будут возникать. В процессе не используется резист, что существенно сокращает число операций литографии
Методами атомно-силовой и интерференционной микроскопии изучена поверхность пленок кобальтсодержащего полиакрилонитрила, полученных под воздействием некогерентного ИКизлучения при неглубоком вакууме. Определены толщины пленок кобальтсодержащего полиакрилонитрила и параметры самоорганизации полученных пленок. Показано, что, изменяя технологические параметры формирования пленок, можно получить материалы с различными электрофизическими свойствами. Рассмотрев пленки с позиций теории самоорганизации, установлено, что полученные структуры упорядочены. Выяснено, что с увеличением концентрации легирующей добавки наблюдается рост шероховатости и снижение средней взаимной информации, что существенно изменяет электрофизические свойства пленок.
Предложена модель эволюции нанорельефа поверхности под действием облучения газовыми кластерными ионами. Модель основана на рассмотрении индивидуальных столкновений кластеров с поверхностью. Определяется количество вещества, распыляемого из области столкновения, и эффективность его переосаждения на другие элементы поверхности. Показана работоспособность модели при сравнении с экспериментальными данными. Исследованы этапы сглаживания модельного гармонического рельефа. Предложена новая мера эффективности сглаживания поверхности.