Настоящая книга посвящена памяти Соколова Дмитрия Георгиевича (1921 — 2000 гг.), Лауреата Государственной премии, главного инженера ЦКБ «Балтсудопроект», главного конструктора проектов судов. Под руководством Дмитрия Георгиевича Соколова выполнены многие проекты судов различного назначения, построенных на отечественных заводах-строителях. Среди них уникальные корабли обеспечения космических полётов «Космонавт Юрий Гагарин», «Маршал Неделин», «Маршал Крылов».
Будучи главным инженером ЦКБ Дмитрий Георгиевич Соколов во многом способствовал проектированию и строительству корабельных измерительных пунктов: малых КИП первого поколения типа «Моржовец» (4 судна, главный конструктор П. С. Возный) и типа «Космонавт Владислав Волков» (4 судна, главный конструктор Б. П. Ардашев), а также универсального корабельного измерительного пункта нового поколения «Академик Николай Пилюгин» (главный конструктор Б. П. Ардашев).
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии
и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.