Статья: Исследование влияния светового отжига на свойства матричных фотоприемных структур на основе антимонида индия (2014)

Читать онлайн

Исследовано влияние светового отжига на напряжение пробоя фотодиодов на пластинах InSb, объемную диффузионную длину неосновных носителей заряда и одноточечную дефектность матричных фотоприемников (МФП) на основе InSb, изготовленных из различных слитков. Обнаружено, что объемная диффузионная длина неосновных носителей заряда в среднем меньше для светового отжига по сравнению со стандартным отжигом в печи для всех исследованных слитков InSb. Установлено отсутствие ухудшения величины напряжения пробоя на пластинах InSb, прошедших световой отжиг, по сравнению с отжигом в печи. Тот факт, что разброс одноточечной дефектности МФП оказался больше разницы средних значений дефектности при различных методах отжига свидетельствует о том, что дефектность фотодиодов не связана с методом отжига.

Influence infra-red light annealing on breakdown voltage on wafers InSb, bulk diffusion the length of nonbasic charge carriers and one-dot deficiency of matrix photodetectors on the basis of InSb is investigated. It is revealed, that bulk diffusion the length of nonbasic charge carriers has on the average appeared less for infra-red light annealing in comparison with standard annealing in the furnace for all investigated ingots InSb that it is possible to explain influence infra-red light annealing only on p—n junction. Absence of breakdown voltage degradation on wafers InSb, the past infra-red light annealing in comparison with annealing in the furnace is established. That fact, that disorder of one-dot deficiency has appeared more differences of average values of deficiency at various methods annealing testifies that deficiency of photodiodes is not connected with a annealing method.

Ключевые фразы: матричное фотоприемное устройство, антимонид индия, дефектность, чувствительность
Автор (ы): Лопухин Алексей Алексеевич (Lopuhin A. A.), Степанюк Владимир Евгеньевич, Таубкин Игорь Исаакович, Фадеев Владислав Викторович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
621.383. Фотоэлектроника
eLIBRARY ID
22628850
Для цитирования:
ЛОПУХИН А. А., СТЕПАНЮК В. Е., ТАУБКИН И. И., ФАДЕЕВ В. В. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СВЕТОВОГО ОТЖИГА НА СВОЙСТВА МАТРИЧНЫХ ФОТОПРИЕМНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ АНТИМОНИДА ИНДИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2014. №6
Текстовый фрагмент статьи