Архив статей

Эффективность методов геттерирования высокоомного кремния для фотодиодов (2015)
Выпуск: №6 (2015)
Авторы: Будтолаев Андрей Константинович, Евлентьев Иван Александрович, Либерова Галина Владимировна, Сиваченко Сергей Дмитриевич, Степанюк Владимир Евгеньевич

Проведено сравнение методов геттерирования при изготовлении фотодиодов на основе высокоомного кремния (p–i–n-фотодиодов). Эффективность геттерирования оценивалась по величине обратных токов фотодиодов при рабочем напряжении 200 В. Лучшие результаты получены на образцах с геттерированием методом диффузионного легирования фосфором нерабочей стороны пластины. Плотность обратных токов составила (2,3—3,4)10-9 А/мм2.

Сохранить в закладках