Статья: Влияние параметров быстрого отжига на ВАХ фотодиодов на основе ГЭС GaN/AlGaN (2014)

Читать онлайн

В данной работе исследовано влияние параметров быстрого термического отжига (БТО) в вакууме или инертной среде на вольт-амперные характеристики, сформированных травлением ионами Ar+, фотодиодов на основе ГЭС GaN/AlGaN. Целью работы являлся подбор оптимальных параметров отжига фотодиодных структур GaN/AlGaN с соответствующими параметрами вольт-амперных характеристик: дифференциальные сопротивления диодов и контактов при нулевом смещении R0, Rк.

Current-voltage characteristics of photodiodes based on GaN/AlGaN, differential resistance of diodes and contacts at zero bias after rapid thermal annealing (RTA) has been investigated. 320×256 photodiodes arrays with a pitch of 30 microns formed on the basis of visible-blind (VB) and solar-blind (SB) p-i-n UV photodiode GaN/AlGaN heteroepitaxial structures, MOCVD and MBE grown on optically transparent sapphire substrates have been used in the study.

Ключевые фразы: фотодиод, термический отжиг, гетероэпитаксиальные структуры, уф диапазон
Автор (ы): Седнев Михаил Васильевич (Sednev M. V.), Смирнов Дмитрий Валентинович, Степанюк Владимир Евгеньевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
621.383. Фотоэлектроника
eLIBRARY ID
21502920
Для цитирования:
СЕДНЕВ М. В., СМИРНОВ Д. В., СТЕПАНЮК В. Е. ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ БЫСТРОГО ОТЖИГА НА ВАХ ФОТОДИОДОВ НА ОСНОВЕ ГЭС GAN/ALGAN // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2014. №2
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (7)
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.