В данной работе исследовано влияние параметров быстрого термического отжига (БТО) в вакууме или инертной среде на вольт-амперные характеристики, сформированных травлением ионами Ar+, фотодиодов на основе ГЭС GaN/AlGaN. Целью работы являлся подбор оптимальных параметров отжига фотодиодных структур GaN/AlGaN с соответствующими параметрами вольт-амперных характеристик: дифференциальные сопротивления диодов и контактов при нулевом смещении R0, Rк.
Current-voltage characteristics of photodiodes based on GaN/AlGaN, differential resistance of diodes and contacts at zero bias after rapid thermal annealing (RTA) has been investigated. 320×256 photodiodes arrays with a pitch of 30 microns formed on the basis of visible-blind (VB) and solar-blind (SB) p-i-n UV photodiode GaN/AlGaN heteroepitaxial structures, MOCVD and MBE grown on optically transparent sapphire substrates have been used in the study.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 21502920
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.